[发明专利]一种带有基板拆装功能的粘附卡盘

权利要求书

1.一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，包括基盘(1)，其特征在于：所述基盘(1)的顶部设置有粘贴部(2)，所述粘贴部(2)的数量为四个，且粘贴部(2)具有粘合力，所述基盘(1)的表面贯穿设置有定位螺栓(3)，所述定位螺栓(3)位于粘贴部(2)之间的空隙处，且定位螺栓(3)延伸至基盘(1)的底部，所述基盘(1)顶部的中心处开设有凹槽(4)，所述凹槽(4)的内部设置有拆卸部(5)，且拆卸部(5)可弹性变形，且粘贴部(2)环绕设置于拆卸部(5)的四周，所述基盘(1)底部的中心处贯穿设置有空气投放口(6)，所述基盘(1)的顶部开设有安装槽(8)，所述粘贴部(2)位于安装槽(8)的内部，所述安装槽(8)的内部固定连接有连接座(9)，所述连接座(9)与粘贴部(2)相互配合使用。

2.根据权利要求1所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述粘贴部(2)包括粘贴块(201)、空腔(202)和连接凸块(203)，所述粘贴块(201)位于安装槽(8)的内部并与安装槽(8)的内壁滑动连接，所述空腔(202)开设于粘贴块(201)的底部，所述连接凸块(203)固定连接于空腔(202)的内部，且连接凸块(203)的底端延伸至连接座(9)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述安装槽(8)的数量与粘贴部(2)的数量相同，且每个安装槽(8)的内部均固定连接两个连接座(9)，所述连接凸块(203)的底端呈圆弧状，且连接凸块(203)与连接座(9)的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述基盘(1)的表面开设有若干螺纹槽(7)，且螺纹槽(7)与定位螺栓(3)的位置相互对应，所述定位螺栓(3)位于螺纹槽(7)的内部并与螺纹槽(7)的内壁螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述基盘(1)的内部设置有空气通道(10)，所述空气通道(10)分别位于空气投放口(6)的四周，且空气通道(10)与空气投放口(6)连通，所述空气通道(10)远离空气投放口(6)的一端与连接座(9)连通。

6.根据权利要求2所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述安装槽(8)两侧的内壁均开设有限位槽(11)，所述粘贴块(201)的底部固定连接有限位块(12)，所述限位块(12)位于限位槽(11)的内部并与限位槽(11)的内壁滑动连接。

7.根据权利要求2所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述粘贴块(201)采用在大气或真空状态下发挥粘着力的粘合橡胶，用于粘贴基板。

8.根据权利要求1所述的一种带有基板拆装功能的粘附卡盘，其特征在于：所述拆卸部(5)使用低强度硅代替现有橡胶。