[发明专利]一种蒸发镀膜装置在审
申请号: | 202111639329.9 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN114059021A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 张秀明;张贻海;李剑;王丽娟;孟凡华 | 申请(专利权)人: | 唐山斯腾光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/56;C23C14/06 |
代理公司: | 北京国贝知识产权代理有限公司 11698 | 代理人: | 尹晓强 |
地址: | 064106 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸发 镀膜 装置 | ||
1.一种蒸发镀膜装置,
包括蒸发舟(1)和过滤件(2);
所述过滤件(2)盖置在所述蒸发舟(1)上;
其特征在于:
所述蒸发舟(1)内摞置有阻挡件(3);和/或,
所述蒸发舟(1)内摞置有内过滤件(4)。
2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置,
其特征在于:
所述蒸发舟(1)包括蒸发舟-底板(1-1);
所述蒸发舟-底板(1-1)的形状呈矩形;
所述蒸发舟-底板(1-1)的前侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-前侧板(1-2);
所述蒸发舟-底板(1-1)的后侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-后侧板(1-3);
所述蒸发舟-底板(1-1)的左侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-左侧板(1-4);
所述蒸发舟-左侧板(1-4)的顶侧边缘垂直于该蒸发舟-左侧板(1-4)的板面向左延伸形成蒸发舟-左翼板(1-6);
所述蒸发舟-底板(1-1)的右侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-右侧板(1-5);
所述蒸发舟-右侧板(1-5)的顶侧边缘垂直于该蒸发舟-右侧板(1-5)的板面向右延伸形成蒸发舟-右翼板(1-7);
所述蒸发舟-底板(1-1)、所述蒸发舟-前侧板(1-2)、所述蒸发舟-后侧板(1-3)、所述蒸发舟-左侧板(1-4)和所述蒸发舟-右侧板(1-5)围合成上方敞口的箱体;
所述箱体的形状呈长方体。
3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置,
其特征在于:
所述过滤件(2)包括过滤件-顶板(2-1);
所述过滤件-顶板(2-1)的形状呈矩形;
所述过滤件-顶板(2-1)的板面中部分布有过滤件-孔(2-2);
所述过滤件-顶板(2-1)的前侧边缘中部垂直于该过滤件-顶板(2-1)的板面向下延伸形成过滤件-前侧板(2-3);
所述过滤件-顶板(2-1)的后侧边缘中部垂直于该过滤件-顶板(2-1)的板面向下延伸形成过滤件-后侧板(2-4);
从前面看,所述过滤件(2)的形状呈倒置的“凸”字形;
从左面看,所述过滤件(2)的形状呈倒置的“凹”字形。
4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置,
其特征在于:
所述阻挡件(3)包括阻挡件-底板(3-1);
所述阻挡件-底板(3-1)的形状呈矩形;
所述阻挡件-底板(3-1)的前、后分别设置有阻挡件-凹口(3-2);
所述阻挡件-底板(3-1)的左侧边缘垂直于该阻挡件-底板(3-1)的板面向上延伸形成阻挡件-左侧板(3-3);
所述阻挡件-左侧板(3-3)的顶侧边缘垂直于该阻挡件-左侧板(3-3)的板面向左延伸形成阻挡件-左翼板(3-5);
所述阻挡件-底板(3-1)的右侧边缘垂直于该阻挡件-底板(3-1)的板面向上延伸形成阻挡件-右侧板(3-4);
所述阻挡件-右侧板(3-4)的顶侧边缘垂直于该阻挡件-右侧板(3-4)的板面向右延伸形成阻挡件-右翼板(3-6);
从前面看,所述阻挡件-底板(3-1)、所述阻挡件-左侧板(3-3)、所述阻挡件-右侧板(3-4)、所述阻挡件-左翼板(3-5)和所述阻挡件-右翼板(3-6)构成倒置的浅槽“Ω”形。
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