[发明专利]一种蒸发镀膜装置

说明书

本发明公开了一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟和过滤件；所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，所述蒸发舟内摞置有内过滤件。所述蒸发舟包括蒸发舟‑底板、蒸发舟‑前侧板、蒸发舟‑后侧板、蒸发舟‑左侧板、蒸发舟‑左翼板、蒸发舟‑右侧板、蒸发舟‑右翼板；所述过滤件包括过滤件‑顶板，所述过滤件‑顶板的板面中部分布有过滤件‑孔；所述阻挡件包括阻挡件‑底板，所述阻挡件‑底板的前、后分别设置有阻挡件‑凹口；所述内过滤件包括内过滤件‑底板，所述内过滤件‑底板的板面中部分布有内过滤件‑孔。本发明可有效地阻挡住和/或过滤掉飞溅的微小颗粒，使气态的物理分子或离子蒸镀在工件上，大大提高了产品质量。

技术领域

本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种蒸发镀膜装置。

背景技术

蒸发镀膜装置是通过电阻加热的方式对膜料(如：硫化锌ZNS)进行加热，使膜料不经过熔化状态直接升华成气体蒸镀在待镀工件上的镀膜装置。如图1 所示，现有技术的蒸发镀膜装置包括蒸发舟1和过滤件2；所述过滤件2盖置在所述蒸发舟1上。由于固态的膜料在受热过程中会发生微小颗粒的飞溅，飞溅的微小颗粒沉积在产品表面形成麻点，严重影响产品质量。麻点是光学产品非常重要的一个光学指标。麻点多的技术问题是长期以来一直存在的技术问题，无法彻底解决。申请人投入了大量的人力、物力和财力通过多次反复的实验终于取得了显著的技术效果。

发明内容

本技术方案要解决的技术问题是提供一种蒸发镀膜装置，该蒸发镀膜装置可有效地阻挡住和/或过滤掉飞溅的微小颗粒，使气态的物理分子或离子蒸镀在工件上，大大提高了产品质量。

为了解决上述技术问题，本技术方案提供了一种蒸发镀膜装置，

包括蒸发舟和过滤件；

所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；

所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，

所述蒸发舟内摞置有内过滤件。

作为本技术方案的各种改进如下所述。

所述蒸发舟包括蒸发舟-底板；

所述蒸发舟-底板的形状呈矩形；

所述蒸发舟-底板的前侧边缘垂直于该蒸发舟-底板的板面向上延伸形成蒸发舟-前侧板；

所述蒸发舟-底板的后侧边缘垂直于该蒸发舟-底板的板面向上延伸形成蒸发舟-后侧板；

所述蒸发舟-底板的左侧边缘垂直于该蒸发舟-底板的板面向上延伸形成蒸发舟-左侧板；

所述蒸发舟-左侧板的顶侧边缘垂直于该蒸发舟-左侧板的板面向左延伸形成蒸发舟-左翼板；

所述蒸发舟-底板的右侧边缘垂直于该蒸发舟-底板的板面向上延伸形成蒸发舟-右侧板；

所述蒸发舟-右侧板的顶侧边缘垂直于该蒸发舟-右侧板的板面向右延伸形成蒸发舟-右翼板；

所述蒸发舟-底板、所述蒸发舟-前侧板、所述蒸发舟-后侧板、所述蒸发舟- 左侧板和所述蒸发舟-右侧板围合成上方敞口的箱体；

所述箱体的形状呈长方体。

所述过滤件包括过滤件-顶板；

所述过滤件-顶板的形状呈矩形；

所述过滤件-顶板的板面中部分布有过滤件-孔；

所述过滤件-顶板的前侧边缘中部垂直于该过滤件-顶板的板面向下延伸形成过滤件-前侧板；

所述过滤件-顶板的后侧边缘中部垂直于该过滤件-顶板的板面向下延伸形成过滤件-后侧板；

从前面看，所述过滤件的形状呈倒置的“凸”字形；