[发明专利]一种蒸镀装置

说明书

本申请实施例公开了一种蒸镀装置，坩埚包括坩埚本体、主喷嘴和副喷嘴，主喷嘴连通坩埚本体并可沿第一方向输出物料，副喷嘴连通坩埚本体并可沿第二方向输出物料，第二方向和第一方向交叉，主喷嘴和副喷嘴均用于朝向待蒸镀基板输出物料，通过设置沿第一方向和沿第二方向朝向待蒸镀基板输出物料的多个喷嘴，使得待蒸镀基板上正对应坩埚的区域和非正对坩埚的区域，均能够较好的形成蒸镀膜层，可以消除正对应坩埚区域的膜层厚度和非正对应坩埚区域的膜层厚度的差异，使得蒸镀膜层厚度均一，从而解决显示面板存在显示色差的技术问题。

技术领域

本申请涉及显示领域，具体涉及一种蒸镀装置。

背景技术

有机发光显示面板(OLED)已经广泛用于生活之中，在有机发光显示面的生产过程中需要用到蒸镀工艺，例如红色发光器件、绿色发光器件、蓝色发光器件中的各种发光材料需要通过蒸镀工艺形成，蒸镀工艺需要用到蒸镀装置，如图1、图2所示，图1为现有技术中一种蒸镀装置的示意图，图2为现有技术中一种蒸镀装置的蒸镀膜层效果示意图，如图1所示，蒸镀装置1000包括外壳1001、位于外壳1001内的容纳腔1002，蒸镀装置1000还包括设置于容纳腔1002内的基板设置台10、坩埚组40，坩埚组40包括多个坩埚41，待蒸镀基板100设置于基板设置台上，当进行蒸镀工艺时，待蒸镀基板100会沿垂直于多个坩埚41的排布方向进行移动，多个坩埚41组成了一个线源(线形蒸发源)，坩埚41的喷嘴408会输出物料在待蒸镀基板100的表面形成蒸镀膜层111，蒸镀膜层111包括对应坩埚41的第一区域101，以及相邻第一区域101之间的第二区域102。

然而，现有技术的蒸镀装置形成的蒸镀膜层111，存在正对应坩埚41的第一区域101膜层厚度和相邻第一区域101之间的第二区域102膜层厚度不均一，两区域蒸镀膜层的厚度差异过大，导致显示面板存在显示色差(mura)的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种蒸镀装置，可以解决在现有技术的蒸镀装置形成的蒸镀膜层，存在正对应坩埚区域的膜层厚度和非正对应坩埚区域的膜层厚度差异过大，蒸镀膜层厚度不均一的技术问题，以及所导致的显示面板存在显示色差的技术问题。

本申请实施例提供了一种蒸镀装置，包括外壳、位于所述外壳内的容纳腔，以及设置于所述容纳腔内的：

坩埚组，所述坩埚组包括多个坩埚；

其中，所述坩埚包括坩埚本体、主喷嘴和副喷嘴，所述主喷嘴连通所述坩埚本体并可沿第一方向输出物料，所述副喷嘴连通所述坩埚本体并可沿第二方向输出所述物料，所述第二方向和所述第一方向交叉，所述主喷嘴和所述副喷嘴均用于朝向待蒸镀基板输出所述物料。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述主喷嘴包括主喷管和主出料口，所述副喷嘴包括副喷管和副出料口，所述副喷管连接于所述主喷管，所述副喷嘴通过所述主喷嘴连通所述坩埚本体。

可选的，在本申请的一些实施例中，至少一个所述副喷嘴设置于所述主喷嘴的第一侧，至少一个所述副喷嘴设置于所述主喷嘴的第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述主喷嘴的所述第一侧的所述副喷嘴的数量，与所述主喷嘴的所述第二侧的所述副喷嘴的数量相同。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述主喷嘴的所述第一侧的所述副喷嘴，与所述主喷嘴的所述第二侧的所述副喷嘴对称设置。

可选的，在本申请的一些实施例中，多个所述坩埚沿第三方向并列排布，每一所述坩埚的所述第一侧的所述副喷嘴、主喷嘴、所述第二侧的所述副喷嘴沿所述第三方向排布。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第三方向垂直于所述待蒸镀基板的移动方向。

可选的，在本申请的一些实施例中，多个所述副喷嘴设置于所述主喷嘴的第一侧，所述第一侧的多个所述副喷嘴沿第一方向依次设置于所述主喷嘴的主喷管上；