[发明专利]一种用于精密半导体元器件的加工装置

权利要求书

1.一种用于精密半导体元器件的加工装置，包括传送带(1)，其特征在于：所述传送带(1)一端设置有斜板(2)，所述斜板(2)端部设置有工作台(3)，所述传送带(1)将元器件输送至斜板(2)上，所述斜板(2)上设置有辅助移动件(4)，所述辅助移动件(4)驱使元器件移动至工作台(3)上，所述工作台(3)底部设置有防护壳(5)，所述斜板(2)靠近工作台(3)的一端设置有限位件(6)，在元器件从斜板(2)上移动至工作台(3)上时，所述限位件(6)只能允许一片元器件通过；

所述工作台(3)上设置有多个隔板(9)，所述工作台(3)上设置有多个支撑板(10)，所述工作台(3)底部设置有驱动组件(7)，所述驱动组件(7)驱使支撑板(10)对元器件交错支撑，所述工作台(3)底部还设置有烘干组件(8)，当元器件位于工作台(3)上时，所述烘干组件(8)吹出热风将元器件烘干；

所述辅助移动件(4)包括设置在斜板(2)底部的密封罩(41)，所述斜板(2)上开设有多个通孔(42)，所述防护壳(5)侧壁设置有气泵一(43)，所述气泵一(43)输出端设置有输气管一(44)，所述输气管一(44)与密封罩(41)连接，所述气泵一(43)通过输气管一(44)向密封罩(41)内通入空气，空气经过所述通孔(42)喷出。

2.根据权利要求1所述的一种用于精密半导体元器件的加工装置，其特征在于：所述通孔(42)相对于斜板(2)倾斜开设，且其出口朝向所述工作台(3)方向。

3.根据权利要求2所述的一种用于精密半导体元器件的加工装置，其特征在于：所述限位件(6)包括设置在斜板(2)两侧的侧板(61)，所述侧板(61)上开设有活动槽(62)，所述斜板(2)靠近工作台(3)的一端设置有挡板(63)，所述挡板(63)两侧均设置有螺杆(64)，所述螺杆(64)位于活动槽(62)内，所述螺杆(64)位于侧板(61)外侧的一端外侧设置有螺纹套筒(65)，当所述螺纹套筒(65)在螺杆(64)上拧紧时，所述螺纹套筒(65)端部抵接侧板(61)表面实现对挡板(63)的固定。

4.根据权利要求3所述的一种用于精密半导体元器件的加工装置，其特征在于：所述驱动组件(7)包括设置在防护壳(5)上的驱动电机(71)，所述防护壳(5)上转动设置有驱动轴(72)，所述驱动电机(71)输出端和驱动轴(72)上均设置有带轮(73)，所述带轮(73)外侧设置有皮带(74)，所述驱动电机(71)通过带轮(73)和皮带(74)的传动带动驱动轴(72)转动，所述驱动轴(72)外侧设置有多个凸轮(75)，多个所述凸轮(75)的突起端位于不同角度，所述支撑板(10)底部设置有U型板(76)，所述凸轮(75)位于U型板(76)内侧，当所述驱动轴(72)带动凸轮(75)转动时，所述凸轮(75)驱使U型板(76)带动支撑板(10)向下移动，所述工作台(3)底部设置有固定板(77)，所述固定板(77)上设置有弹性件(78)，所述弹性件(78)端部与支撑板(10)底部连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于精密半导体元器件的加工装置，其特征在于：所述弹性件(78)为弹簧。

6.根据权利要求5所述的一种用于精密半导体元器件的加工装置，其特征在于：所述烘干组件(8)包括设置在防护壳(5)底部的气泵二(81)，所述气泵二(81)输出端设置有输气管二(82)，所述输气管二(82)端部设置有连接管(83)，所述连接管(83)上设置有竖管(84)，所述竖管(84)端部贯穿工作台(3)与隔板(9)连接，所述隔板(9)为中空且隔板(9)上开设有出风槽(85)，所述连接管(83)上设置有软管(86)，所述软管(86)端部与支撑板(10)连接，所述支撑板(10)为中空且所述支撑板(10)上表面开设有通气孔(87)。

7.根据权利要求6所述的一种用于精密半导体元器件的加工装置，其特征在于：所述软管(86)为波纹管。