[发明专利]一种镀膜机基片架系统

权利要求书

1.一种镀膜机基片架系统，其特征在于：包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。

2.根据权利要求1所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：驱动机构包括竖直布置的驱动轴，驱动轴的上端延伸至真空腔室的内部，驱动轴的上端具有A离合部，夹具架上具有B离合部，驱动轴和夹具架之间通过A、B离合部实现可拆卸式传动连接配合。

3.根据权利要求1所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：还包括用于对镀膜完成后移出真空腔室的夹具架进行承接和/或承托待镀膜的夹具架移入真空腔室的撑托车架。

4.根据权利要求1或2或3所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：夹具架的底部装配有滚轮，夹具架通过滚轮移入和移出真空腔室。

5.根据权利要求4所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：真空腔室的室底上设置有A导轨，滚轮与A导轨进行滚动配合。

6.根据权利要求5所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：撑托车架上设置有B导轨，滚轮与B导轨进行滚动配合，A、B导轨顺延布置时用于实现夹具架在A、B导轨上的转移。

7.根据权利要求6所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：A、B导轨中的一者端部设置有卡口，另一者端部设置口卡块，通过卡口和卡块的卡接配合实现A、B导轨之间的顺延对接装配。

8.根据权利要求6所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：A导轨上还设置用于辅助夹具架进行定位的定位块，夹具架底部滚轮的旁侧设置有定位杆，定位杆上设置有定位销，定位杆和定位块相抵靠实现夹具架的定位。

9.根据权利要求6所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：A离合部的上端面上设置有A咬合块，A咬合块沿驱动轴的周向间隔设置，B离合部的下端面上设置有B咬合块，A离合部升降式安装，A、B咬合块交错咬合实现驱动轴和传动轴之间的传动连接。

10.根据权利要求6所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：夹具架上设置有用于移动夹具架的推拉把手，撑托车架上设置有用于移动撑托车架的车架把手，撑托车架的底部设置有车轮。

11.根据权利要求8所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：夹具架包括底座和位于底座上方的顶板，传动轴和底座同心布置，滚轮、定位杆安装在底座的下表面上，顶板通过各个支撑杆安装在底座上，顶板上设置有各个贯穿顶板的装配孔，装配孔的周边设置有缺口部，缺口部的尺寸小于装配孔的孔直径，底座的上表面上设置有卡座，各装配孔和各卡座上、下对应布置，卡座、装配孔分别沿底座、顶板的周向间隔设置。