[发明专利]一种镀膜机基片架系统

说明书

本发明涉及一种镀膜机基片架系统，包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。本发明提供的上述方案，通过将夹具架设置成可拆卸式结构，这样在真空腔室内进行镀膜时，可以对另一组夹具架装配夹具和待镀膜工件，从而提高生产效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备领域，具体涉及一种镀膜机基片架系统。

背景技术

传统的镀膜基片架都是固定在镀膜设备腔室中，基片的镀膜、装载、卸载时都是在腔室内部进行，当镀膜设备在给基片镀膜时，工作人员只能等待镀膜结束后打开腔室门方可进行卸载基片，等卸载完后才可以进行装夹基片。因此只能按照单一操作顺序依序进行操作，很是浪费时间，造成整个生产效率很低。

发明内容

本发明的目的是提供一种镀膜机基片架系统，其可以用于解决上述技术问题。

本发明采取的技术方案具体如下：

一种镀膜机基片架系统，其特征在于：包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。

具体的方案为：驱动机构包括竖直布置的驱动轴，驱动轴的上端延伸至真空腔室的内部，驱动轴的上端具有A离合部，夹具架上具有B离合部，驱动轴和夹具架之间通过A、B离合部实现可拆卸式传动连接配合。

还包括用于对镀膜完成后移出真空腔室的夹具架进行承接和/或承托待镀膜的夹具架移入真空腔室的撑托车架。

夹具架的底部装配有滚轮，夹具架通过滚轮移入和移出真空腔室。

真空腔室的室底上设置有A导轨，滚轮与A导轨进行滚动配合。

撑托车架上设置有B导轨，滚轮与B导轨进行滚动配合，A、B导轨顺延布置时用于实现夹具架在A、B导轨上的转移。

A、B导轨中的一者端部设置有卡口，另一者端部设置口卡块，通过卡口和卡块的卡接配合实现A、B导轨之间的顺延对接装配。

A导轨上还设置用于辅助夹具架进行定位的定位块，夹具架底部滚轮的旁侧设置有定位杆，定位杆上设置有定位销，定位杆和定位块相抵靠实现夹具架的定位。

A离合部的上端面上设置有A咬合块，A咬合块沿驱动轴的周向间隔设置，B离合部的下端面上设置有B咬合块，A离合部升降式安装，A、B咬合块交错咬合实现驱动轴和传动轴之间的传动连接。具体的可以将驱动轴设置成伸缩式结构用于抬升A离合部或下降A离合部。

夹具架上设置有用于移动夹具架的推拉把手，撑托车架上设置有用于移动撑托车架的车架把手，撑托车架的底部设置有车轮。

夹具架包括底座和位于底座上方的顶板，传动轴和底座同心布置，滚轮、定位杆安装在底座的下表面上，顶板通过各个支撑杆安装在底座上，顶板上设置有各个贯穿顶板的装配孔，装配孔的周边设置有缺口部，缺口部的尺寸小于装配孔的孔直径，底座的上表面上设置有卡座，各装配孔和各卡座上、下对应布置，卡座、装配孔分别沿底座、顶板的周向间隔设置。

本发明提供的上述方案，通过将夹具架设置成可拆卸式结构，这样在真空腔室内进行镀膜时，可以对另一组夹具架装配夹具和待镀膜工件，从而提高生产效率。

附图说明

图1为真空腔室的结构示意图；

图2为驱动机构的结构示意图；

图3为夹具架和撑托车架的结构示意图；

图4为撑托车架的结构示意图；