[发明专利]掩模夹具

说明书

本发明公开了一种掩模夹具，它包括固定架、载体装置和位置切换装置；其中，所述载体装置中具有适于放置板件的放置工位，所述载体装置适于装夹固定住所述放置工位中的板件；所述载体装置活动连接在所述固定架上并在活动过程中具有检测位置和上下料位置，在所述载体装置从所述检测位置活动至所述上下料位置的过程中所述载体装置转动一定角度至倾斜状态；所述位置切换装置与所述载体装置相连并适于驱动所述载体装置在所述检测位置和所述上下料位置之间活动。本发明能够使上料和下料更方便，提高上料和下料的效率。

技术领域

本发明涉及一种掩模夹具。

背景技术

目前，掩模的应用十分广泛，在掩模的生产过程中需要对掩模进行检测，检测时需要将掩模放置在一个载体装置中。在实际使用中，载体装置倾斜时，掩模比较容易安装在载体装置上，同样将载体装置上的掩模取下也比较方便。但是，载体装置倾斜时需要占用较大的空间，由于检测时空间有限，因此只能将载体装置竖直放置，然而载体装置竖直放置时虽然能够节约空间但是上下料非常不方便，尤其对于大尺寸的掩模，会大大降低掩模上料和下料的效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种掩模夹具，它能够使上料和下料更方便，提高上料和下料的效率。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种掩模夹具，它包括固定架、载体装置和位置切换装置；其中，

所述载体装置中具有适于放置板件的放置工位，所述载体装置适于装夹固定住所述放置工位中的板件；

所述载体装置活动连接在所述固定架上并在活动过程中具有检测位置和上下料位置，在所述载体装置从所述检测位置活动至所述上下料位置的过程中所述载体装置转动一定角度至倾斜状态；

所述位置切换装置与所述载体装置相连并适于驱动所述载体装置在所述检测位置和所述上下料位置之间活动。

进一步提供一种所述载体装置的具体结构，所述载体装置包括载体架和固定装置；其中，

所述载体架活动连接在所述固定架上并适于在所述检测位置和所述上下料位置之间活动，在所述载体架从所述检测位置活动至所述上下料位置的过程中所述载体架转动一定角度至倾斜状态；

所述位置切换装置与所述载体架相连；

所述固定装置连接在所述载体架上并适于固定住所述放置工位中的板件。

进一步提供一种所述载体架的具体安装方式，所述载体架通过至少一根上连杆和至少一根下连杆活动连接在所述固定架上；

所述上连杆位于所述下连杆的上方；

所述上连杆的一端部铰接在所述固定架上，所述上连杆的另一端部铰接在所述载体架上；

所述下连杆的一端部铰接在所述固定架上，所述下连杆的另一端部铰接在所述载体架上；

当所述载体架活动至所述检测位置时，所述载体架贴合在所述固定架上并处于竖直状态；

当所述载体架活动至所述上下料位置时，所述载体架与所述固定架脱离贴合并处于倾斜状态。

进一步，所述固定架竖直设置；

所述上连杆的长度小于所述下连杆的长度；

当所述载体架位于所述上下料位置时，所述载体架的上端部距离所述固定架的距离小于所述载体架的下端部距离所述固定架的距离。

进一步为了吸住所述载体架，所述固定架上用于与所述载体架贴合的端面上设有至少一个负压吸附部；

所述负压吸附部中具有至少一个吸附孔；

所述吸附孔适于与负压源相连并适于当所述载体架贴合在所述固定架上时吸住所述载体架。

进一步，所述掩模夹具还包括控制器、传感器和顶离气缸；其中，

所述吸附孔通过管路与所述负压源相连，所述管路中设有电磁阀；