[发明专利]一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置

权利要求书

1.一种微机电系统，其特征在于，包括：

第一膜片；

第二膜片，与所述第一膜片相对设置；

若干支撑件，设置在所述第一膜片和所述第二膜片之间，所述支撑件包括若干支撑壁，所述支撑壁的相对两端分别连接所述第一膜片和所述第二膜片，所述第一膜片、所述第二膜片与同一所述支撑件内相邻的两个所述支撑壁合围形成第一腔室；

连通槽，设置在所述第一膜片上或同时设置于所述第一膜片和所述第二膜片上，用于将所述第一腔室与外部连通。

2.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述连通槽包括狭缝形槽体结构、圆形槽体结构、腰型槽体结构、角形槽体结构或S形槽体结构。

3.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：每个所述支撑件对应设有多个所述连通槽，多个所述连通槽沿着第一方向间隔设置。

4.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述连通槽贯穿于所述第一膜片上，所述第一腔室内的部分区域具有填充材料。

5.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述支撑件包括多个第一腔室，在相邻的两个所述第一腔室中，其一所述第一腔室所具有的所述连通槽开设于所述第一膜片上，另一所述第一腔室所述具有的所述连通槽开设于所述第二膜片上。

6.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述第一膜片包括在第二方向上交替布置的多个第一峰和第一槽，所述第二膜片包括在所述第二方向上交替布置的多个第二峰和第二槽，所述第一峰与所述第二槽相对，所述第一槽与所述第二峰相对，相对的所述第一峰和所述第二槽与相邻的两个所述支撑壁之间合围形成第二腔室，所述第二腔室内设置有对电极。

7.根据权利要求6所述的微机电系统，其特征在于：所述支撑件夹在相对的所述第一槽与所述第二峰之间。

8.根据权利要求4所述的微机电系统，其特征在于：所述填充材料为氧化硅。

9.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述支撑壁由多晶硅或氮化硅制成。

10.一种电声转换装置，包括权利要求1-9任一项所述的微机电系统以及与所述微机电系统电连接的电路装置。