[发明专利]一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置

说明书

本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，微机电系统包括：第一膜片；第二膜片，与第一膜片相对设置；若干支撑件，支撑件包括若干支撑壁，支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片，第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支撑壁合围形成第一腔室；连通槽，设置在第一膜片上或同时设置于第一膜片和第二膜片上，用于将第一腔室与外部连通。通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于第一膜片上或同时于第一膜片和第二膜片上设置连通槽，从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性，同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。

技术领域

本申请涉及电声转换装置技术领域，特别是一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置。

背景技术

在现有的具有双膜结构的微机电系统中，包括上膜、下膜以及用于连接上膜和下膜的若干支撑件，支撑件允许上膜和下膜在它们最接近的地方连接。

在某些设计中，需要调整双膜结构的机械柔顺性，当双膜结构受到压力时，会发生变形，导致在支撑件横截面上产生弯曲应变。该区域受弯越硬，整个双层膜结构的柔顺性越低。该区域对弯曲的柔顺性越强，整个双层膜结构的柔顺性越高，麦克风灵敏度也就越高。

本申请涉及支撑件和改变其柔顺性，主要是增加其柔顺性，从而在不改变其他设计或材料参数的情况下，双膜结构可以具有更高的柔顺性。

发明内容

鉴于上述问题，本申请提供一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，以解决现有技术中的技术问题，它能够提高双膜结构的柔顺性。

第一方面，本申请提供了一种微机电系统，包括：

第一膜片；

第二膜片，与所述第一膜片相对设置；

若干支撑件，设置在所述第一膜片和所述第二膜片之间，所述支撑件包括若干支撑壁，所述支撑壁的相对两端分别连接所述第一膜片和所述第二膜片，所述第一膜片、所述第二膜片与同一所述支撑件内相邻的两个所述支撑壁合围形成第一腔室；

连通槽，设置在所述第一膜片上或同时设置于所述第一膜片和所述第二膜片上，用于将所述第一腔室与外部连通。

本申请实施例的技术方案中，通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于所述第一膜片上或同时于所述第一膜片和所述第二膜片上设置连通槽，从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性，同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。

在一些实施例中，所述连通槽包括狭缝形槽体结构、圆形槽体结构、腰型槽体结构、角形槽体结构或S形槽体结构。

在一些实施例中，每个所述支撑件对应设有多个所述连通槽，多个所述连通槽沿着第一方向间隔设置。

在一些实施例中，所述连通槽贯穿于所述第一膜片上，所述第一腔室内的部分区域具有填充材料。

在一些实施例中，所述支撑件包括多个第一腔室，在相邻的两个所述第一腔室中，其一所述第一腔室所具有的所述连通槽开设于所述第一膜片上，另一所述第一腔室所述具有的所述连通槽开设于所述第二膜片上。

在一些实施例中，所述第一膜片包括在第二方向上交替布置的多个第一峰和第一槽，所述第二膜片包括在所述第二方向上交替布置的多个第二峰和第二槽，所述第一峰与所述第二槽相对，所述第一槽与所述第二峰相对，相对的所述第一峰和所述第二槽与相邻的两个所述支撑壁之间合围形成第二腔室，所述第二腔室内设置有对电极。

在一些实施例中，所述支撑件夹在相对的所述第一槽与所述第二峰之间。

在一些实施例中，所述填充材料为氧化硅。

在一些实施例中，所述支撑壁由多晶硅或氮化硅制成。