[发明专利]一种单晶炉加热器自动升降机构有效
申请号: | 202111647896.9 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114293245B | 公开(公告)日: | 2023-02-14 |
发明(设计)人: | 曹玉宝;李欢;段世飞;李方;尹嘉琦;张忠涛 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;B66F7/00;B66F7/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加热器 自动 升降 机构 | ||
1.一种单晶炉加热器自动升降机构,其特征在于:包括炉底盘(1),炉底盘(1)上板面架设有坩埚单元,炉底盘(1)下板面设有升降单元;所述升降单元包括电机(2)、丝杆(3)、导向柱(4)、载板(5)、电极(6)和加热线圈(7);所述坩埚单元包括外炉体(8)和坩埚体(9);所述载板(5)的下板面螺栓固接有固定块(10),丝杆(3)的一端贯穿载板(5)并传动连接固定块(10),丝杆(3)的另一端固接电机(2)的输出端,电机(2)固接炉底盘(1)的下板面;所述丝杆(3)一侧设置导向柱(4),导向柱(4)的一端固接炉底盘(1),导向柱(4)的另一端滑动贯穿载板(5);所述载板(5)与炉底盘之间安装有电极(6),电极(6)的下端固接载板(5),电极(6)的上端滑动贯穿炉底盘(1),连接加热线圈(7);所述坩埚体(9)坐落在外炉体(8)内,坩埚体(9)与外炉体(8)之间的间隙安置加热线圈(7),加热线圈(7)的下端固接电极(6)的上端;
所述电机(2)和丝杆(3)对称安装炉底盘(1)和载板(5)之间,导向杆(13)和电极(6)呈中心轴对称安装炉底盘(1)和载板(5)之间;所述电极(6)外圈上套设有波纹管,波纹管的两端分别固接载板(5)的下板面和炉底盘(1)的上板面;
所述炉底盘(1)上设有补油机构,且电极(6)的上端通过补油机构连接炉底盘(1),且补油机构包括上壳(15)、下壳(16)、转棍(17)、活塞缸(18)、活塞杆(19)和压簧;所述下壳(16)固接炉底盘(1),电极(6)贯穿下壳(16)的中心孔,中心孔外圆周阵列固接铰接块,相邻两个铰接块之间转动连接转棍(17),转棍(17)贴附在电极(6)表面,转棍(17)的端部均匀固接多个推杆(21),推杆(21)的端部挤压在活塞杆(19)的一端,活塞杆(19)的另一端通过压簧滑动连接在活塞缸(18)内,活塞缸(18)固接炉底盘(1),活塞缸(18)的出油管(27)贯穿上壳(15)延伸至固定块(10)与丝杆(3)连接处;
所述电极(6)的外圈圆周阵列开设安装槽(22),安装槽(22)内设有齿条(23);所述转棍(17)的外圈圆周阵列固接有齿牙(24),齿牙(24)与齿条(23)啮合;
每个所述推杆(21)的端部转动连接有滚轮(25);每个所述活塞杆(19)的一端固接有弧形板(26),弧形板(26)的凸起面挤压滚轮(25),弧形板(26)的内凹面固接活塞杆(19)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器自动升降机构,其特征在于:所述外炉体(8)内侧壁对称开设滑槽(11);所述加热线圈(7)的外表面设有导向单元;所述导向单元包括固定板(12)和导向杆(13);所述固定板(12)对称固接加热线圈(7)上,固定板(12)的上端面开设伸缩槽(14),导向杆(13)的一端滑动连接在伸缩槽(14)内,导向杆(13)的另一端弯折90度并滑动连接在滑槽(11)内。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器自动升降机构,其特征在于:所述出油管(27)的分支管(28)延伸至滑槽(11)内,且分支管(28)的出油口置于导向杆(13)的另一端的正上方。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器自动升降机构,其特征在于:所述导向杆(13)内部为中空状,导向杆(13)的外圈开设多个出油孔(29),出油孔(29)连通中空部,导向杆(13)的另一端水平部位开设凹部(30),凹部(30)与中空部连通。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器自动升降机构,其特征在于:所述安装槽(22)内侧开设卡槽(31),齿条(23)两侧设有凸部(32),凸部(32)嵌入在卡槽(31)内,电极(6)的下端设有连接圆盘(33),连接圆盘(33)螺栓连接齿条(23)的下端和电极(6)的下端。
6.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器自动升降机构,其特征在于:所述出油管(27)的分支管(28)延伸至滚轮(25)与弧形板(26)相互挤压位置点上方。
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