[发明专利]一种新型的真空卷绕溅射单体机

权利要求书

1.一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架(1)上，卷绕支架(1)安装在移动架(2)上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊(3)、张力辊(4)、导向辊(5)、水冷辊(6)，收放卷辊(3)通过双向旋转的收卷电机(7)驱动，收卷电机(7)的输出轴设置有磁粉制动器(8)、行星齿轮减速机(9)；所述水冷辊(6)通过同步带轮(10)、同步带(11)的配合与伺服电机(12)连接，张力辊(4)连接有张力传感器(13)；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位(14)，移动架(2)的内壁上也安装有多组冷却挡板(15)、平面阴极位(14)，并布置有布气管路(16)。

2.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述真空腔室的顶部安装有放气阀(17)，真空腔室的内侧安装有低温捕集器(18)。

3.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述真空腔室上还设置有观察窗(19)，真空腔室的内侧顶部安装有维修照明灯(20)。

4.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述水冷辊(6)连接有进水管(22)和出水管(23)，进水管(22)、出水管(23)与冷却水管(21)连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述真空腔室的左右两侧均配置有真空泵组(24)。

6.根据权利要求1所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述卷绕支架(1)通过联杆(39)连接有活动底架(25)，活动底架(25)设置在直线导轨(26)上，并通过电机与坦克链牵引机构(40)的配合驱动其沿直线导轨(26)行走。

7.根据权利要求6所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述直线导轨(26)的一侧安装有立柱式悬吊臂(27)，悬吊臂(27)呈倒置的“L”形结构，悬吊臂(27)的上部安装有悬吊勾(28)，悬吊勾(28)的顶端连接有吊绳(29)，吊绳(29)卷绕在收卷辊(30)上，收卷辊(30)连接有旋转电机(31)。

8.根据权利要求7所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述旋转电机(31)固定在滑动架(38)上，滑动架(38)的顶端连接有直线滑移机构。

9.根据权利要求8所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述直线滑移机构包括驱动电机(32)、传动齿轮(33)、齿条组(34)，悬吊臂(27)上部的水平部分设有传动槽(35)，传动齿轮(33)安装在传动槽(35)内，齿条组(34)设置在传动槽(35)的底壁上，传动齿轮(33)与齿条组(34)啮合传动连接。

10.根据权利要求9所述的一种新型的真空卷绕溅射单体机，其特征在于：所述传动齿轮(33)远离驱动电机(32)的一端通过转轴连接有限位块(36)，传动槽(35)对应转轴的位置上开设有供其直线滑移的辅助滑槽(37)。