[发明专利]一种新型的真空卷绕溅射单体机

说明书

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架上，卷绕支架安装在移动架上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊、张力辊、导向辊、水冷辊，收放卷辊通过双向旋转的收卷电机驱动，收卷电机的输出轴设置有磁粉制动器、行星齿轮减速机；所述水冷辊通过同步带轮、同步带的配合与伺服电机连接，张力辊连接有张力传感器；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位。该设备在可调的恒定转速和可调的恒定张力下传送柔性材料材料，线速度恒定的情况下，镀膜张力控制效果好，从而使膜层镀覆均匀。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种新型的真空卷绕溅射单体机。

背景技术

现有的卷绕式真空镀膜设备，在工作过程中，盘绕于放卷辊的料卷卷径逐渐减小，盘绕于收卷辊的料卷卷径逐渐增大，若卷绕装置的旋转线速度恒定，则基材表面的张力将随料卷卷径变化而变化，这会造成膜层不均匀，影响镀膜效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型的真空卷绕溅射单体机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架上，卷绕支架安装在移动架上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊、张力辊、导向辊、水冷辊，收放卷辊通过双向旋转的收卷电机驱动，收卷电机的输出轴设置有磁粉制动器、行星齿轮减速机；所述水冷辊通过同步带轮、同步带的配合与伺服电机连接，张力辊连接有张力传感器，张力传感器安装在张力辊的一侧；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位，移动架的内壁上也安装有多组冷却挡板、平面阴极位，并布置有布气管路。

优选的，所述真空腔室的顶部安装有放气阀，真空腔室的内侧安装有低温捕集器。

优选的，所述真空腔室的背部及另一面外侧安装有观察窗，内侧顶部安装有维修照明灯。

优选的，所述水冷辊连接有进水管和出水管，进水管、出水管与冷却水管连接，从而形成自动冷却水循环。

优选的，所述真空腔室的左右两侧均配置有真空泵组，每组真空泵组均包括油扩散泵、罗茨泵、机械泵和机械泵，真空泵组通过可编程控制器控制。

优选的，所述卷绕支架通过联杆连接有活动底架，活动底架设置在直线导轨上，并通过电机与坦克链牵引机构的配合驱动其沿直线导轨行走。

优选的，所述直线导轨的一侧安装有立柱式悬吊臂，悬吊臂呈倒置的“L”形结构，悬吊臂上部安装有悬吊勾，悬吊勾的顶端连接有吊绳，吊绳卷绕在收卷辊上，收卷辊连接有旋转电机。

优选的，所述旋转电机固定在滑动架上，滑动架的顶端连接有直线滑移机构。

优选的，所述直线滑移机构包括驱动电机、传动齿轮、齿条组，悬吊臂上部的水平部分设有传动槽，传动齿轮安装在传动槽内，齿条组设置在传动槽的底壁上，传动齿轮与齿条组啮合传动连接。

优选的，所述传动齿轮远离驱动电机的一端通过转轴连接有限位块，传动槽对应转轴的位置上开设有供其直线滑移的辅助滑槽。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明提供的一种新型的真空卷绕溅射单体机，该设备主要用于柔性材料的两侧镀制溅射工艺，该设备在可调的恒定转速和可调的恒定张力下传送柔性材料材料，线速度恒定的情况下，镀膜张力控制效果好，从而使膜层镀覆均匀，镀膜效果好。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的局部剖视图；

图3为本发明的收卷装置的主视图；