[发明专利]一种蒸发源装置、蒸镀设备及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202111651965.3 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114318238A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘金彪;李元星;罗楠;刘文豪;肖昂;晋亚杰;李靖;加新星;姬磊;黄秦霏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 设备 方法 | ||
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括：
坩埚，用于容纳蒸镀材料，所述坩埚设有用于输出所述蒸镀材料的多个喷口，多个所述喷口至少排列为一排；
风扇部件，可转动地设置于所述坩埚的喷口处，以使所述蒸镀材料通过所述风扇部件向外喷射；
加热部件，用于对所述坩埚内的蒸镀材料进行加热气化；以及
多个驱动装置，分别用于驱动所述风扇部件旋转。
2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述风扇部件包括与所述喷口可转动连接的环状部、设置在所述环状部外周面的从动齿，以及设置在所述环状部内的多个扇叶。
3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述环状部的内径与所述喷口的内径相等。
4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述环状部的顶面设有沿喷射方向延伸的喷筒部，所述喷筒部设置为圆柱型。
5.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述环状部设有轴承固定部，所述环状部通过轴承与所述喷口转动连接。
6.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述驱动装置包括驱动电机和设置在所述驱动电机输出轴上的主动轮。
7.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述主动轮与所述环状部上的从动齿啮合，以驱动所述环状部旋转。
8.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述主动轮通过链条、皮带或同步带与所述环状部上的从动齿连接，以驱动所述环状部旋转。
9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的蒸发源装置，以及用于调节所述风扇部件转速的控制装置。
10.一种蒸镀方法，应用于权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，包括：
加热坩埚，以使所述坩埚内的蒸镀材料受热气化，并沉积在基板表面；
利用膜厚检测装置获得所述基板表面的膜层厚度数值；
提高对应膜层厚度数值小于预设值位置的喷口的风扇部件的转速，以增加所述位置的蒸镀材料沉积量，或者降低对应膜层厚度数值大于预设值位置的喷口的风扇部件的转速，以减少所述位置的蒸镀材料沉积量。
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