[发明专利]一种蒸发源装置、蒸镀设备及蒸镀方法

说明书

本发明公开一种蒸发源装置、蒸镀设备及蒸镀方法，该蒸发源装置包括：坩埚，用于容纳蒸镀材料，所述坩埚设有用于输出所述蒸镀材料的多个喷口，多个所述喷口至少排列为一排；风扇部件，可转动地设置于所述坩埚的喷口处，以使所述蒸镀材料通过所述风扇部件向外喷射；加热部件，用于对所述坩埚内的蒸镀材料进行加热气化；以及多个驱动装置，分别用于驱动所述风扇部件旋转。本发明的蒸发源装置通过对风扇部件的转速控制，可对坩埚内压进行调控，从而调控蒸镀材料喷出的范围，随着风扇部件的旋转速度增加，喷射蒸镀材料的区域越集中，该区域内的材料沉积的越多，从而调整该区域的膜层厚度。

技术领域

本发明涉及OLED显示技术领域。更具体地，涉及一种用于OLED蒸镀工艺的蒸发源装置、蒸镀设备及蒸镀方法。

背景技术

有机电致发光器件(OrganicLight-EmittingDiode，以下简称：OLED)的典型结构是在ITO玻璃上制作一层几十纳米厚的发光材料——也就是人们通常所说OLED屏幕像素自发光材料，发光层上方有一层金属电极，电极加电压，发光层产生光辐射，目前常采用蒸镀工艺在ITO玻璃上形成发光层。

蒸镀就是真空中通过电流加热，电子束轰击加热或激光加热等方法，使有机发光材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成发光层薄膜。其中蒸发源是加热有机发光材料使其蒸发的装置，现有的蒸发源结构，导致材料喷射的角度范围比较大，使得真正沉积在玻璃基板上的材料较少，材料耗量较大。较大的喷射范围，也会导致材料喷射角的增大，导致较大阴影区，影响高分辨率产品的实现。同时，固定的喷射角度导致每次蒸镀的时候均匀性是不变的，不可调整的，大大降低了系统的灵活性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸发源装置和蒸镀设备，该蒸发源装置的材料喷射角度范围较小，且喷射角度可调节，提高了材料的利用率，并且可动态调整蒸镀膜层均匀性。

根据本发明的一个方面，提供了一种蒸发源装置，包括：坩埚，用于容纳蒸镀材料，所述坩埚设有用于输出所述蒸镀材料的多个喷口，多个所述喷口至少排列为一排；

风扇部件，可转动地设置于所述坩埚的喷口处，以使所述蒸镀材料通过所述风扇部件向外喷射；

加热部件，用于对所述坩埚内的蒸镀材料进行加热气化；以及

多个驱动装置，分别用于驱动所述风扇部件旋转。

优选地，所述风扇部件包括与所述喷口可转动连接的环状部、设置在所述环状部外周面的从动齿，以及设置在所述环状部内的多个扇叶。

优选地，所述环状部的内径与所述喷口的内径相等。

优选地，所述环状部的顶面设有沿喷射方向延伸的喷筒部，所述喷筒部设置为圆柱型。

优选地，所述环状部设有轴承固定部，所述环状部通过轴承与所述喷口转动连接。

优选地，所述驱动装置包括驱动电机和设置在所述驱动电机输出轴上的主动轮。

优选地，所述主动轮与所述环状部上的从动齿啮合，以驱动所述环状部旋转。

优选地，所述主动轮通过链条、皮带或同步带与所述环状部上的从动齿连接，以驱动所述环状部旋转。

根据本发明的另一个方面，提供了一种蒸镀设备，包括上述的蒸发源装置，以及用于调节所述风扇部件转速的控制装置。

根据本发明的又一个方面，提供了一种蒸镀方法，应用于上述的蒸镀设备，包括：

加热坩埚，以使所述坩埚内的蒸镀材料受热气化，并沉积在基板表面；

利用膜厚检测装置获得所述基板表面的膜层厚度数值；