[发明专利]一种测定超高纯石墨材料元素杂质含量的设备及其方法有效

专利信息
申请号: 202111654382.6 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN114199990B 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 杨辉;张旻;毛玉珍;徐建平;陈妍;王伟媛;张双;许汉春 申请(专利权)人: 赛迈科先进材料股份有限公司
主分类号: G01N27/68 分类号: G01N27/68
代理公司: 杭州西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33325 代理人: 周孝林
地址: 313100 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 测定 高纯 石墨 材料 元素 杂质 含量 设备 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种测定超高纯石墨材料元素杂质含量的设备,包括质谱检测台(1),其特征在于,所述质谱检测台(1)上设有第一测试区(11)以及第二测试区(12),还包括;

夹持机构(2),所述夹持机构(2)可配合安置于所述第一测试区(11)或第二测试区(12)进行辉光质谱检测,所述夹持机构(2)包括:样品座(21)、底板(22)、按压组件(23)、样品套环(24)以及旋转件(25),所述样品座(21)的中部自上而下中空设置,所述底板(22)通过螺钉连接于所述样品座(21)的底部,所述样品套环(24)内安装样品(3)且由所述样品座(21)中设置的所述按压组件(23)按压抵触所述底板(22),所述旋转件(25)套设于所述按压组件(23)的外部且其驱动所述样品套环(24)在所述样品座(21)中作圆周运动;

所述第一测试区(11)包括开口竖直朝上设置的辉光发生器(111)以及承载所述夹持机构(2)的承载轨A(112),所述底板(22)的中部设有第一通孔(220),所述夹持机构(2)安置于所述承载轨A(112)时,所述辉光发生器(111)透过所述第一通孔(220)对所述样品(3)检测;

所述第二测试区(12)包括开口竖直朝下设置的辉光发生器(111)以及承载所述夹持机构(2)的承载轨B(122),所述按压组件(23)的中部设有第二通孔(230),所述夹持机构(2)安置于所述承载轨B(122)时,所述辉光发生器(111)透过所述第二通孔(230)对所述样品(3)检测;

所述承载轨A(112)和所述承载轨B(122)之间设置有驳接轨道(13),所述驳接轨道(13)用以将所述夹持机构(2)从所述第一测试区(11)传送至所述第二测试区(12);

还包括循环运输组件(5),所述循环运输组件(5)上等距均布若干的所述夹持机构(2),所述循环运输组件(5)驱动所述夹持机构(2)依次经过所述第一测试区(11)和所述第二测试区(12)再输出,该循环运输组件(5)设置为步进传输;

还包括旋转驱动组件(4),所述旋转驱动组件(4)包括第一驱动头(41)以及第二驱动头(42),所述第一驱动头(41)对应设置于所述第一测试区(11)的一侧,所述第二驱动头(42)对应设置于所述第二测试区(12)的一侧,所述旋转驱动组件(4)可配合驱动所述旋转件(25)旋转;

所述底板(22)上方设置有一内齿圈(221),所述样品套环(24)的外侧壁与所述内齿圈(221)啮合配合,且所述样品套环(24)的直径小于所述内齿圈(221)的直径,所述样品套环(24)沿所述内齿圈(221)的内壁作环形回转运动;

所述样品套环(24)的环形面上开设有环形凹槽(241),所述样品套环(24)的上下环形面分别接触所述按压组件(23)和所述底板(22)进行滑动密封;

所述旋转件(25)包括套设于所述按压组件(23)外部的转筒(251)、一体连接于所述转筒(251)外侧的连杆(252)以及设置于所述连杆(252)端部的圆柱件(253),所述转筒(251)的外侧设有齿轮与所述第一驱动头(41)或第二驱动头(42)啮合传动,所述圆柱件(253)嵌入所述环形凹槽(241)中带动所述样品套环(24)运动。

2.根据权利要求1所述的一种测定超高纯石墨材料元素杂质含量的设备的一种测定超高纯石墨材料元素杂质含量的方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一,样品上料,松开夹持机构(2)中的样品座(21)与底板(22)之间的螺钉,取下底板(22),将底板(22)上承载的样品套环(24)取出,随后将样品(3)装填入样品套环(24)内,随后将样品套环(24)放置于底板(22)上与内齿圈(221)啮合并组装至样品座(21);

步骤二,循环运输,由循环运输组件(5)带动夹持机构(2)做环形运输,依次经过第一测试区(11)和第二测试区(12)后返回到样品上料区待用;

步骤三,底面测试,夹持机构(2)被运送至第一测试区(11)时暂停,辉光发生器(111)从样品(3)的底部进行电离检测;

步骤四,顶面测试,夹持机构(2)被运送至第二测试区(12)时暂停,辉光发生器(111)从样品(3)的顶部进行电离检测;

步骤五,旋转驱动工序,在步骤三和步骤四的过程中,旋转驱动组件(4)中的第一驱动头(41)驱动在第一测试区(11)做测试工作的夹持机构(2)上的旋转件(25)旋转,从而带动样品套环(24)绕内齿圈(221)旋转,对样品(3)的底面多点采样测试,第二驱动头(42)驱动在第二测试区(12)做测试工作的夹持机构(2)上的旋转件(25)旋转,从而带动样品套环(24)绕内齿圈(221)旋转,对样品(3)的顶面多点采样测试;

步骤六,样品取出,经过第二测试区(12)测试后,夹持机构(2)被循环运输组件(5)转移离开质谱检测台(1),后续的夹持机构(2)夹持样品(3)在质谱检测台(1)测试的同时,人工将已测试完的样品(3)从夹持机构(2)上取下。

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