[发明专利]真空镀膜前热处理吹扫设备在审
申请号: | 202111655565.X | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114351085A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李嘉;马高;何江海;张军 | 申请(专利权)人: | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02 |
代理公司: | 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 | 代理人: | 马素琴 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 热处理 设备 | ||
1.一种真空镀膜前热处理吹扫设备,包括柜体,其特征在于:所述柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置,所述工作台设置在柜体内下部位置,且由支撑架支撑,工作台上设有旋转组件,所述吹扫机构位于所述旋转组件上方,所述吸尘机构设置在吹扫机构一侧,吸尘机构和吹扫机构均与升降机构连接,所述升降机构位于柜体后侧壁上,所述加热装置设置在远离吸尘机构的柜体侧壁上。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述工作台中部向上凸出形成一安装块,所述安装块的中间开设有通孔,安装块两侧设有限位挡杆;所述柜体底面中间具有向上的凸起部分,所述支撑架设置在凸起部分上,以使凸起部分的两侧柜体底面形成可供升降搬运小车进出的通道。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述旋转组件包括减速电机、主动齿轮、从动齿轮、同步带和旋转座,所述减速电机安装在工作台下方的支撑架上,减速电机的输出轴上安装主动齿轮,所述主动齿轮通过同步带与从动齿轮连接,所述从动齿轮安装在从动轴上,所述从动轴通过轴承安装在通孔上,其上端固定有旋转座;所述安装块上靠近旋转座的位置处设有光电传感器。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述升降机构包括驱动电机、丝杆、导轨和滑块,所述驱动电机安装在柜体顶部,其输出轴连接丝杆,所述导轨设置在丝杆的两侧,所述丝杆的丝杆螺母上连接有滑块,所述滑块上连接有安装板。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述丝杆的上、下端均设有限位开关。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述吹扫机构包括吹扫头、支撑管和进气管,所述吹扫头安装在支撑管底端,所述支撑管的上部固定在一连杆的一端,所述连杆的另一端连接至安装板的上部,支撑管的上端连接进气管,所述进气管连接柜体外部的高压气源。
7.根据权利要求4所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述吸尘机构包括吸风件和风管,所述吸风件为一侧开口的壳体,吸风件开口侧形状呈内凹弧形,吸风件上自开口侧边沿向壳体内设置有若干隔板,壳体及相邻隔板形成吸风口,所述风管连接在壳体的顶面后侧位置,其末端伸出柜体顶面。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:位于壳体中部的相邻两个隔板与壳体形成一敞口的吸风口,位该吸风口两侧的隔板分别与对应侧的隔板平行设置。
9.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述加热装置包括安装支架和位于安装支架上的红外加热灯,所述安装支架竖直固定在柜体侧壁上,其具有上端开口且延伸至下部的插槽,所述红外加热灯卡设在插槽中。
10.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备,其特征在于:所述柜体的前端开口处设置有双开门,所述双开门的中段设有可视窗,所述可视窗的下方设有拉手。
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