[发明专利]真空镀膜前热处理吹扫设备在审
申请号: | 202111655565.X | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114351085A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李嘉;马高;何江海;张军 | 申请(专利权)人: | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02 |
代理公司: | 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 | 代理人: | 马素琴 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 热处理 设备 | ||
本发明涉及一种真空镀膜前热处理吹扫设备,包括柜体,柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置,工作台设置在柜体内下部位置,且由支撑架支撑,工作台上设有旋转组件,吹扫机构位于所述旋转组件上方,吸尘机构设置在吹扫机构一侧,吸尘机构和吹扫机构均与升降机构连接,升降机构位于柜体后侧壁上,加热装置设置在远离吸尘机构的柜体侧壁上。本发明通过旋转组件带动夹装的大盘支架旋转,加热装置进行加热,吹扫机构对大盘支架进行冷却吹扫,同时,吸尘机构进行灰尘收集,升降机构带动吹扫机构和吸尘机构同步升降,通过加热后迅速冷却吹扫的方式将大盘支架上涂层结合力不牢固的涂层剥离掉并被吸尘机构吸走。
技术领域
本发明涉及真空镀膜前处理技术领域,尤其是一种真空镀膜前处理吹扫设备。
背景技术
目前,在装夹涂层工件的上方会放置挡尘盘或制作一些简易的挡尘薄片,然后所有的工件装夹好后会直接推进涂层炉内涂层。工装夹具大盘表面长时间的跟随涂层或维护不及时,其表面存有结合力不牢固的涂层附着,入炉后随着温度的上升和气压的波动,夹具大盘上有些比较厚的涂层会容易剥落到工件表面,而极易形成工件落灰现象。另外,一些模具表面或钻头端面也会出现一些微小的落尘,导致不良品或让步接收产品的产生。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:克服现有技术中之不足,提供一种真空镀膜前处理吹扫设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种真空镀膜前热处理吹扫设备,包括柜体,所述柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置,所述工作台设置在柜体内下部位置,且由支撑架支撑,工作台上设有旋转组件,所述吹扫机构位于所述旋转组件上方,所述吸尘机构设置在吹扫机构一侧,吸尘机构和吹扫机构均与升降机构连接,所述升降机构位于柜体后侧壁上,所述加热装置设置在远离吸尘机构的柜体侧壁上。
旋转组件带动夹装的大盘支架旋转,加热装置进行加热,吹扫机构对大盘支架进行冷却吹扫,同时,吸尘机构进行灰尘收集,升降机构带动吹扫机构和吸尘机构同步升降,通过加热后迅速冷却吹扫的方式将大盘支架上涂层结合力不牢固的涂层剥离掉并被吸尘机构吸走。
进一步地,所述工作台中部向上凸出形成一安装块,所述安装块的中间开设有通孔,安装块两侧设有限位挡杆;所述柜体底面中间具有向上的凸起部分,所述支撑架设置在凸起部分上,以使凸起部分的两侧柜体底面形成可供升降搬运小车进出的通道。
设置安装块,便于安装旋转组件;限位挡杆起到标定的作用,可以直观看出大盘支架是否安装到位;由于大盘支架是由升降搬运小车运至柜体内的,所以底部凸起,两边可供小车进出,便于转移大盘支架。
更进一步地,所述旋转组件包括减速电机、主动齿轮、从动齿轮、同步带和旋转座,所述减速电机安装在工作台下方的支撑架上,减速电机的输出轴上安装主动齿轮,所述主动齿轮通过同步带与从动齿轮连接,所述从动齿轮安装在从动轴上,所述从动轴通过轴承安装在通孔上,其上端固定有旋转座;所述安装块上靠近旋转座的位置处设有光电传感器。
旋转座由电机通过同步带传动机构实现旋转,减速电机根据预设进行速度控制,光电传感器与减速电机上的编码器共同作用,实现大盘支架在吹扫后自动归零点位置。
进一步地,所述升降机构包括驱动电机、丝杆、导轨和滑块,所述驱动电机安装在柜体顶部,其输出轴连接丝杆,所述导轨设置在丝杆的两侧,所述丝杆的丝杆螺母上连接有滑块,所述滑块上连接有安装板。
驱动电机提供动力,通过丝杆和导轨实现安装板的上下移动。
更进一步地,所述丝杆的上、下端均设有限位开关。
通过丝杆上、下端的限位开关,对滑板进行限位控制。
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