[发明专利]椭偏仪光谱浮动模型及建立方法在审
| 申请号： | 202111658726.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114324184A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈旺;薛英武;劳开满 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G06F30/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 椭偏仪 光谱 浮动 模型 建立 方法 | ||
1.一种椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，包括：
建立量测程式，对晶圆进行一次量测，并收集所述晶圆膜层的量测光谱数据；
使用OLSA软件，对所述量测光谱数据进行拟合；
通过编辑所述晶圆对应膜层的射散模型，增加一个谐振子，并将所述谐振子的初始值改为0；
在所述量测程式输出项里面选择所述谐振子。
2.根据权利要求1所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，在对所述晶圆进行量测之前，在所述量测程式中开启收集光谱的功能。
3.根据权利要求2所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，在对所述晶圆进行量测之前，确定所述晶圆进行量测的准确位置。
4.根据权利要求3所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，收集所述晶圆多个膜层的量测光谱数据。
5.根据权利要求3所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，收集所述晶圆所有膜层的量测光谱数据。
6.根据权利要求5所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，对所述晶圆所有膜层的量测光谱数据进行拟合。
7.根据权利要求1所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，所述量测光谱数据包括膜厚和光学常数。
8.根据权利要求7所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，所述光学常数包括折射率和消光系数。
9.根据权利要求1所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法，其特征在于，所述谐振子为空白自由谐振子。
10.一种椭偏仪光谱浮动模型，其特征在于，采用如权利要求1～9中任一项所述的椭偏仪光谱浮动模型的建立方法建立而成。
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