[发明专利]一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质

权利要求书

1.一种外延炉氢气吸收系统，包括传送腔（1）和存片腔（2），所述传送腔（1）与所述存片腔（2）连接，其特征在于，所述外延炉氢气吸收系统还包括：

氢气吸收装置（3），设置在所述传送腔（1）内，用于吸收所述传送腔（1）内的氢气；

氢气浓度检测装置（4），设置在所述传送腔（1）内，用于采集所述传送腔（1）内的氢气浓度信息；

控制器，用于在对所述存片腔（2）进行晶片（6）上料或下料前，获取所述氢气浓度信息，还用于在所述氢气浓度信息大于或等于预设的第一阈值时，控制所述氢气吸收装置（3）吸收所述传送腔（1）内的氢气直至所述氢气浓度信息小于预设的第二阈值，以使排放至空气中的氢气的体积含量低于4%，还用于在所述氢气浓度信息小于所述第二阈值时，对所述存片腔（2）进行晶片（6）上料或下料。

2.根据权利要求1所述的外延炉氢气吸收系统，其特征在于，所述外延炉氢气吸收系统还包括：惰性气体提供装置，所述惰性气体提供装置与所述传送腔（1）连接，所述控制器还用于在所述传送腔（1）内的所述氢气浓度信息大于或等于所述第一阈值时，控制所述惰性气体提供装置向所述传送腔（1）输送惰性气体直至所述氢气浓度信息小于所述第二阈值。

3.根据权利要求1所述的外延炉氢气吸收系统，其特征在于，所述传送腔（1）通过第一插板阀（7）与所述存片腔（2）连接，所述控制器还用于当所述传送腔（1）内的所述氢气浓度信息小于所述第二阈值时，控制所述第一插板阀（7）打开。

4.根据权利要求1所述的外延炉氢气吸收系统，其特征在于，所述外延炉氢气吸收系统还包括反应腔（5），所述反应腔（5）与所述传送腔（1）连接，所述氢气吸收装置（3）设置在所述传送腔（1）内靠近所述存片腔（2）的一侧和/或所述传送腔（1）内靠近所述反应腔（5）的一侧。

5.根据权利要求1所述的外延炉氢气吸收系统，其特征在于，所述传送腔（1）内设有机械手（11），所述控制器还用于在所述氢气浓度信息小于所述第二阈值时，控制所述机械手（11）对所述存片腔（2）进行晶片（6）上料或下料操作。

6.根据权利要求1所述的外延炉氢气吸收系统，其特征在于，所述氢气浓度检测装置（4）设置在所述传送腔（1）内靠近所述存片腔（2）的一侧。

7.一种外延炉氢气吸收方法，其特征在于，应用在外延炉氢气吸收系统中，所述外延炉氢气吸收系统包括传送腔（1）、存片腔（2）、氢气吸收装置（3）和氢气浓度检测装置（4），所述传送腔（1）与所述存片腔（2）连接，所述氢气吸收装置（3）设置在所述传送腔（1）内，所述氢气吸收装置（3）用于吸收所述传送腔（1）内的氢气，所述氢气浓度检测装置（4）设置在所述传送腔（1）内，所述氢气浓度检测装置（4）用于采集所述传送腔（1）内的氢气浓度信息，所述外延炉氢气吸收方法包括以下步骤：

在对所述存片腔（2）进行晶片（6）上料或下料前，通过所述氢气浓度检测装置（4）获取所述氢气浓度信息；

在所述氢气浓度信息大于或等于预设的第一阈值时，控制所述氢气吸收装置（3）吸收所述传送腔（1）内的氢气直至所述氢气浓度信息小于预设的第二阈值，以使排放至空气中的氢气的体积含量低于4%；

在所述氢气浓度信息小于所述第二阈值时，对所述存片腔（2）进行晶片（6）上料或下料。

8.根据权利要求7所述的外延炉氢气吸收方法，其特征在于，所述外延炉氢气吸收系统还包括惰性气体提供装置，所述惰性气体提供装置与所述传送腔（1）连接，所述在所述氢气浓度信息大于或等于预设的第一阈值时，控制所述氢气吸收装置（3）吸收所述传送腔（1）内的氢气直至所述氢气浓度信息小于预设的第二阈值的步骤包括：

当所述氢气浓度信息大于或等于所述预设的第一阈值时，控制所述氢气吸收装置（3）吸收所述传送腔（1）内的氢气和控制所述惰性气体提供装置向所述传送腔（1）输送惰性气体，直至所述氢气浓度信息小于所述预设的第二阈值。