[发明专利]真空系统及其作业控制方法、装置

权利要求书

1.一种真空系统，其特征在于，包括：前级泵、分子泵、工件预留口、控制器、真空检测组件和管路控制组件；其中，

所述真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向所述控制器发送第一触发信号；所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间，第三位置位于所述分子泵与所述工件预留口之间；

所述管路控制组件，用于根据所述控制器的控制指令，控制所述第一位置、第二位置和第三位置的管路开闭状态；

所述控制器，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动；

所述真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向所述控制器发送第四触发信号；

所述控制器，还用于在收到所述第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；

所述真空检测组件，还用于在所述第二位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第五触发信号；所述控制器还用于在收到所述第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第二控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第二触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第二触发信号时，向所述管路控制组件发送第三控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

4.根据权利要求2-3任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第四控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第三触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第三触发信号时，向所述管路控制组件发送第五控制信号，以使当所述第二位置的管路关闭。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第八控制信号，以使所述第一位置和所述第三位置的管路均关闭。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测所述第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第六触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第六触发信号时，向所述管路控制组件发送第九控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。

7.根据权利要求5-6任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第十控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第七触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第七触发信号时，向所述管路控制组件发送第十一控制信号，以使所述第二位置的管路关闭、第一位置和第三位置的管路均打开。