[发明专利]真空系统及其作业控制方法、装置

说明书

本发明涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

技术领域

本发明涉及真空系统技术领域，具体涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置。

背景技术

真空系统通常包括以下设备：前级泵、分子泵、分子泵控制器和真空计。其中，前级泵用于保护分子泵；分子泵控制器用于控制分子泵的启动和关闭；真空计用于测量真空度或气压数值。真空系统在应用时，首先通过按压前级泵的启动按钮，启动前级泵，再通过按压真空计，启动真空计，持续监测到分子泵真空度达到真空度阈值时，按压分子泵控制器从而启动分子泵；而在换工件时，需要先触发分子泵停机，直到分子泵安全停机后，再对真空系统放气，放气完成后，才能完成换件工作。

在真空系统的应用过程中，需要多次人为控制，实现对前级泵、真空计以及分子泵的开启及关闭，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种真空系统及其作业控制方法、装置，以至少解决现有技术中真空系统应用过程中需要多次人为控制，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率的问题。

为实现以上目的，本发明采用如下技术方案：

一方面，提供了一种真空系统，包括：前级泵、分子泵、工件预留口、控制器、真空检测组件和管路控制组件；其中，

所述真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向所述控制器发送第一触发信号；所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间，第三位置位于所述分子泵与所述工件预留口之间；

所述管路控制组件，用于根据所述控制器的控制指令，控制所述第一位置、第二位置和第三位置的管路开闭状态；

所述控制器，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。

可选的，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第二控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

可选的，所述真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第二触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第二触发信号时，向所述管路控制组件发送第三控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

可选的，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第四控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第三触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第三触发信号时，向所述管路控制组件发送第五控制信号，以使当所述第二位置的管路关闭。

可选的，所述真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向所述控制器发送第四触发信号；