[发明专利]载物平台的重复定位精度测量方法、系统及存储介质

权利要求书

1.一种载物平台的重复定位精度测量方法，所述载物平台包括光源、载物台和相机结构，所述玻片被固定放置在所述载物台上，所述玻片带有图案，其特征在于，所述方法包括：

控制所述相机结构拍摄所述载物台位于指定的目标位置时所述玻片的第一图像，所述第一图像包括所述图案；

控制所述载物台按照设定的运动参数进行至少一次的往返运动，控制所述相机结构拍摄所述载物台被移回到指定的目标位置时所述玻片的第二图像，得到至少一张所述第二图像，所述运动参数包括运动方向和运动距离；

根据所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案以及所述运动参数，确定所述载物平台的重复定位精度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述载物台按照设定的运动参数进行至少一次的往返运动，包括：

控制所述载物台在其所在的平面沿X轴方向进行至少一次的往返运动。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述载物台按照设定的运动参数进行至少一次的往返运动，包括：

控制所述载物台在其所在的平面沿Y轴方向进行至少一次的往返运动。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述载物台按照设定的运动参数进行至少一次的往返运动，包括：

控制所述载物台在其所在的平面沿X轴方向、沿Y轴方向分别进行至少一次的往返运动。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述载物台按照设定的运动参数进行至少一次的往返运动，控制所述相机结构拍摄所述载物台被移回到指定的目标位置时所述玻片的第二图像，包括：

所述控制所述载物台在其所在的平面按照设定的运动参数进行多次的往返运动，控制所述相机结构拍摄所述载物台被移回到指定的目标位置时所述玻片的第二图像；

且，所述根据所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案以及所述运动参数，确定所述载物平台的重复定位精度，包括：

根据所述第一图像中的所述图案和多个所述第二图像中所述图案中的偏移的最大值，以及所述运动参数，确定所述载物平台的重复定位精度。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案以及所述运动参数，确定所述载物平台的重复定位精度，包括：

将所述第一图像与至少一张所述第二图像进行图像配准，得到所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案中的像素偏移；

根据所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案中的像素偏移，确定所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案中的位置偏移；

根据所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案中的位置偏移以及所述运动参数，确定所述载物平台的重复定位精度。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述运动参数还包括运动速度。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻片上的图案为十字形图案；和/或，所述图案在所述第一图像的中央。

9.一种载物平台的重复定位精度测量系统，所述载物平台包括光源、载物台和相机结构，其特征在于，所述系统包括：存储器和处理器，所述存储器用于存储计算机程序；所述处理器用于执行所述计算机程序并在执行所述计算机程序时，实现如权利要求1-8任一项所述的载物平台的重复定位精度测量方法。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时使所述处理器实现如权利要求1-8任一项所述的载物平台的重复定位精度测量方法。