[发明专利]一种等离子体清洗系统

权利要求书

1.一种等离子体清洗系统，用于清洗待处理产品，其特征在于，包括：

真空腔室，具有进气口和出气口；

至少一组等离子体发生器，所述等离子体发生器包括同轴且间隔设置的第一平板和第二平板，所述第一平板设有若干第一贯穿孔，所述第二平板设有若干第二贯穿孔，第一平板和第二平板之间具有间隙；

安装架，所述第一平板和所述第二平板位于所述安装架；

脉冲偏压电源，所述脉冲偏压电源的正极与所述真空腔室电连接形成阳极，所述脉冲偏压电源的负极与所述第一平板和所述第二平板电连接；

转动装置，所述转动装置可带动所述第一平板和所述第二平板同步转动；

离子源，所述进气口包括第一进气口和第二进气口，所述第一进气口与所述离子源连通，所述离子源用于产生等离子体。

2.如权利要求1所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述转动装置包括驱动电机和连接所述驱动电机的转盘，所述安装架与所述转盘连接。

3.如权利要求2所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述安装架包括连接杆和固定架，所述连接杆的一端连接所述转盘，另一端连接所述固定架，所述第一平板和所述第二平板位于所述连接杆。

4.如权利要求3所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述第一平板和所述第二平板垂直或倾斜安装于所述连接杆。

5.如权利要求1所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述第一平板和所述第二平板均包括平板本体和若干平板单元，若干所述平板单元可拆卸的排列在所述平板本体上，所述平板本体设有若干贯穿部，所述平板单元设有若干贯穿通道。

6.如权利要求5所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述平板本体可折叠。

7.如权利要求5所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述平板本体为圆形或方形。

8.如权利要求5所述的等离子体清洗系统，其特征在于，所述贯穿通道为三角形、圆形或多边形。