[发明专利]一种工件平整度检测装置

权利要求书

1.一种工件平整度检测装置，其特征在于，包括：

载物模块，所述载物模块用于放置待测工件；

施压模块，所述施压模块设有柔性测量传感器，所述施压模块用于使所述柔性测量传感器以恒定压力与所述待测工件接触；

驱动模块，所述驱动模块与所述施压模块连接，所述驱动模块用于驱动所述柔性测量传感器以恒定速度沿所述待测工件的表面运动；

数据处理模块，所述数据处理模块与所述柔性测量传感器连接，所述数据处理模块用于拟合所述柔性测量传感器的目标信号曲线，所述目标信号曲线用于反映所述待测工件的表面曲线；

结果处理模块，所述结果处理模块与所述数据处理模块连接，所述结果处理模块用于对比所述目标信号曲线与预设的标准工件的标准曲线，得到对比结果。

2.根据权利要求1所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述工件平整度检测装置还包括显示模块，所述显示模块与所述数据处理模块连接，所述显示模块用于显示所述目标信号曲线。

3.根据权利要求2所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述显示模块与所述结果对比模块连接，所述显示模块用于显示所述对比结果。

4.根据权利要求1所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述施压模块设有液压推杆。

5.根据权利要求1所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述驱动模块为多关节机械臂和滑动导轨，所述多关节机械臂滑动连接于所述滑动导轨上。

6.根据权利要求1所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述柔性测量传感器具有由柔性材料制成的柔性测量面。

7.根据权利要求6所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，当所述柔性测量传感器受到挤压，所述柔性测量传感器的电阻变化。

8.根据权利要求7所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述柔性测量传感器的压缩形变量与所述柔性测量传感器的电阻成反比关系。

9.根据权利要求1所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述结果处理模块用于对比所述目标信号曲线与预设的标准工件的标准曲线，得到对比结果，具体为：

所述结果处理模块用于将所述目标信号曲线分段，得到多段分段曲线；

所述结果处理模块还用于对于每段分段曲线，以所述标准曲线中与所述分段曲线对应的部分作为对比段，计算所述分段曲线与所述对比段的相似度，以所述相似度作为所述对比结果。

10.根据权利要求9所述的一种工件平整度检测装置，其特征在于，所述相似度表示为：K是所述相似度，L1是所述分段曲线与所述对比段的欧式距离；A(x)为所述分段曲线的参数表示，B(x)为所述对比段的参数表示。