[实用新型]具有较高靶材利用率的靶材组件有效
| 申请号： | 202120009271.9 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN214736055U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 胡业新;高毓康 | 申请（专利权）人： | 江苏日久光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人： | 郭杨 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 较高靶材 利用率 组件 | ||
1.一种具有较高靶材利用率的靶材组件，包括多个靶材和底座（4），其特征在于：多个所述靶材包括两个位于所述底座（4）相对两侧边部的边部靶材（2）、固定于两个所述边部靶材（2）之间的多个中间靶材（1），每个所述边部靶材（2）的厚度分别厚于每个所述中间靶材（1），所述边部靶材（2）与所述中间靶材（1）磁控溅射面相齐平。
2.根据权利要求1所述的具有较高靶材利用率的靶材组件，其特征在于：所述底座（4）与所述中间靶材（1）之间垫设有铜垫片（3）。
3.根据权利要求2所述的具有较高靶材利用率的靶材组件，其特征在于：所述边部靶材（2）通过铜与/或铟焊接在所述底座（4）相应边部，所述铜垫片（3）通过铜与/或铟焊接所述底座（4）中间部，所述中间靶材（1）通过铜与/或铟焊接固定在所述铜垫片（3）上。
4.根据权利要求1所述的具有较高靶材利用率的靶材组件，其特征在于：所述中间靶材（1）为3个。
5.根据权利要求2所述的具有较高靶材利用率的靶材组件，其特征在于：每个所述中间靶材（1）厚6mm，每个所述边部靶材（2）厚6.7mm，所述铜垫片（3）厚0.7mm。
6.根据权利要求5所述的具有较高靶材利用率的靶材组件，其特征在于：每个所述中间靶材（1）的规格为380mm*127mm*6mm，每个所述边部靶材（2）的规格为380mm*127mm*6.7mm，所述铜垫片（3）的规格为1140mm*127mm*0.7mm。
7.根据权利要求1所述的具有较高靶材利用率的靶材组件，其特征在于：所述底座（4）长2030mm，宽170mm。
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