[实用新型]一种晶圆切割环的尺寸检验工装

权利要求书

1.一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，包括底座，底座上设有凹槽，凹槽两端分别为晶圆切割环的插入口，凹槽两侧设有定位组件，两组定位组件相对设置，所述定位组件包括调节部，滑动部和弹簧，所述调节部设有腰形孔，调节部与底座通过螺钉连接，螺钉穿设在腰形孔中，所述滑动部与调节部连接，滑动部与调节部之间设有弹簧，所述调节部设有凹陷部，滑动部设置在凹陷部中，滑动部上设有测距传感器。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述底座设有安装孔，底座上设有盖板，盖板设有配接柱，配接柱与安装孔对应设置。

3.根据权利要求2所述的晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，多个安装孔间隔设置。

4.根据权利要求3所述的晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述调节部设有滑槽，所述滑动部的滑块插设在滑槽中。

5.根据权利要求4所述的晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述弹簧两端分别设置在调节部的第一定位孔和滑动部的第二定位孔中。

6.根据权利要求5所述的晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述滑动部两端设有斜面。