[实用新型]一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备

权利要求书

1.一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体（1），所述扩散炉体（1）的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架（2），其特征在于：所述扩散炉体（1）的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管（3），所述扩散炉体（1）的内底部中心处固定有轴承座（5），所述气体扩散管（3）的底端与轴承座（5）转动连接，所述气体扩散管（3）的外壁上开设有多个气体扩散孔（4），且多个气体扩散孔（4）呈环形分布，所述气体扩散管（3）的顶端贯穿扩散炉体（1）顶端设置，且气体扩散管（3）与扩散炉体（1）的接触处设有第二密封轴承（6），所述扩散炉体（1）的上表面固定有驱动马达（7），所述驱动马达（7）的输出端连接有固定轴，且转动轴与气体扩散管（3）的顶端之间连接有传动皮带（8），所述传动皮带（8）的顶端连接有气体输入连接罩（9），所述气体输入连接罩（9）连接有气体输入管道（10），所述气体输入管道（10）与外置供气源相连接，所述气体输入管道（10）通过支架固定在扩散炉体（1）的上表面，所述扩散炉体（1）的顶端还连接有出气管（11），所述出气管（11）上设有阀门，所述扩散炉体（1）的侧壁上固定有吸附装置（12），且出气管（11）与吸附装置（12）相连接；

所述气体扩散管（3）的顶端开设有环形槽（13），所述气体输入连接罩（9）的底端固定有连接圆环（14），且连接圆环（14）与环形槽（13）相匹配，所述环形槽（13）的内壁上粘贴有密封气囊（15），所述气体扩散管（3）外壁上设置用于对密封气囊（15）进行充放气的接头，所述连接圆环（14）的底端固定有第一环形永磁体（16），所述环形槽（13）的内顶部固定有第二环形永磁体（17），且第二环形永磁体（17）和第一环形永磁体（16）磁吸设置。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，其特征在于：所述气体扩散管（3）为耐高温金属管，且气体扩散管（3）的内壁和外壁均采用防锈处理。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，其特征在于：所述气体扩散孔（4）外端的口径小于内端的口径。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，其特征在于：所述气体输入连接罩（9）为漏斗状连接罩，且顶端口径大于底端。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，其特征在于：所述吸附装置（12）包括固定在扩散炉体（1）外壁上的吸附箱（121），所述出气管（11）插入吸附箱（121）内，所述吸附箱（121）的内壁上固定有环形冷却水囊（122），且环形冷却水囊（122）包裹出气管（11）设置，所述吸附箱（121）内部位于环形冷却水囊（122）的下侧设有活性炭吸附球（123），所述吸附箱（121）的内底部设有多层活性炭吸附网（124），所述吸附箱（121）的底端开设有出气口（125）。