[实用新型]一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，属于电池片生产设备技术领域，一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体，扩散炉体的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架，扩散炉体的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管，扩散炉体的内底部中心处固定有轴承座，气体扩散管的底端与轴承座转动连接，气体扩散管的外壁上开设有多个气体扩散孔，且多个气体扩散孔呈环形分布，气体扩散管的顶端贯穿扩散炉体顶端设置，且气体扩散管与扩散炉体的接触处设有第二密封轴承，可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象。

技术领域

本实用新型涉及电池片生产设备技术领域，更具体地说，涉及一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备。

背景技术

太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射能并利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件，当太阳光照在半导体P-N结上，形成新的空穴-电子对，在P-N结电场的作用下，空穴由N区流向P区，电子由P区流向N区，接通电路后就形成电流。晶硅太阳能电池的制造工艺有6道工序，分别为制绒，扩散，去磷硅玻璃和背结，镀膜，丝网印刷，烧结。其中扩散工序是在硅片正面形成电池的核心部件PN结。在太阳光的照射下，PN结两侧形成电势差，接通电路后就形成电流。

目前，在晶硅太阳电池扩散设备中，待反应气体通过炉尾处的进气管导入炉体内，并在炉体内某点释放，然后扩散至整个炉腔，但是现有的扩散炉内，气体通入后不能很快的均匀扩散在炉体内四周，从而引发太阳能电池硅片扩散掺杂的不均匀现象，影响炉管工艺腔室内的对硅片进行扩散的质量和效率，影响产能。

实用新型内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象。

2．技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体，所述扩散炉体的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架，所述扩散炉体的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管，所述扩散炉体的内底部中心处固定有轴承座，所述气体扩散管的底端与轴承座转动连接，所述气体扩散管的外壁上开设有多个气体扩散孔，且多个气体扩散孔呈环形分布，所述气体扩散管的顶端贯穿扩散炉体顶端设置，且气体扩散管与扩散炉体的接触处设有第二密封轴承，所述扩散炉体的上表面固定有驱动马达，所述驱动马达的输出端连接有固定轴，且转动轴与气体扩散管的顶端之间连接有传动皮带，所述传动皮带的顶端连接有气体输入连接罩，所述气体输入连接罩连接有气体输入管道，所述气体输入管道与外置供气源相连接，所述气体输入管道通过支架固定在扩散炉体的上表面，所述扩散炉体的顶端还连接有出气管，所述出气管上设有阀门，所述扩散炉体的侧壁上固定有吸附装置，且出气管与吸附装置相连接；

所述气体扩散管的顶端开设有环形槽，所述气体输入连接罩的底端固定有连接圆环，且连接圆环与环形槽相匹配，所述环形槽的内壁上粘贴有密封气囊，所述气体扩散管外壁上设置用于对密封气囊进行充放气的接头，所述连接圆环的底端固定有第一环形永磁体，所述环形槽的内顶部固定有第二环形永磁体，且第二环形永磁体和第一环形永磁体磁吸设置。