[实用新型]一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室有效
| 申请号： | 202120054133.2 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN214193448U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 周继承;廖佳;黄静;徐伟;曾世魁 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/50;C23C16/24;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52;H01L31/20 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 王颖 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 太阳能电池 pecvd 设备 空腔 | ||
1.一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于，包括：真空壳体(2)，沉积装置和升降装置(9)；所述沉积装置设置在所述真空壳体(2)内腔；所述升降装置(9)设置在所述真空壳体(2)底部；
所述沉积装置包括匀气挡板(3)；所述真空壳体(2)顶面和底面分别开设有进气口(1)和出气口(8)；所述匀气挡板(3)的侧壁与所述真空壳体(2)内壁顶部固接；所述真空壳体(2)内腔中部固接有喷淋板(4)；所述真空壳体(2)内腔底部设置有承载机构；所述承载机构的底面与所述升降装置(9)顶部固接；所述匀气挡板(3)顶面中部开设有第一匀气孔；所述第一匀气孔两侧分别对称开设有第二匀气孔；所述匀气挡板(3)顶面两最外侧分别对称开设有第三匀气孔。
2.根据权利要求1所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述第一匀气孔宽度为70-90mm，长度为650-750mm；所述第二匀气孔宽度为100-130mm，长度为700-800mm；所述第三匀气孔宽度为130-170mm，长度为750-850mm。
3.根据权利要求1所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述承载机构包括承载板(7)；所述承载板(7)的底面与所述升降装置(9)顶部固接；所述承载板(7)的顶面设置有载板(6)；所述载板(6)的顶面放置有硅片(5)。
4.根据权利要求1所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述喷淋板(4)电性连接有射频电源；所述喷淋板(4)顶面均匀开设有若干喷淋孔。
5.根据权利要求3所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述承载板(7)内嵌设有电阻丝。
6.根据权利要求1所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述出气口(8)连通有真空泵(10)。
7.根据权利要求1所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述真空壳体(2)的一侧开设有输入口；所述真空壳体(2)的另一侧开设有输出口。
8.根据权利要求3所述的一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于：所述真空壳体(2)两侧设置有可开关的闸阀，用于待处理所述硅片(5)进出。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
