[实用新型]一种用于碱性蚀刻液生产的抽风系统

权利要求书

1.一种用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：包括生产槽(1)、氨气回收装置(2)和尾气排气管(3)，所述的氨气回收装置包括两个及两个以上的氨气回收子系统(4)，各氨气回收子系统相互连接，所述的氨气回收装置的第一个氨气回收子系统的接入口通过风管一(5)与生产槽连接，所述的氨气回收装置的最后一个氨气回收子系统的输出口与尾气排气管连接，在第一个氨气回收子系统之后设有无极变速风机(6)，所述的第一个氨气回收子系统内使用的吸收液为清水，除第一个氨气回收子系统以外的氨气回收子系统内使用的吸收液为稀盐酸。

2.根据权利要求1所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的无极变速风机对整个抽风系统的风量调解值为0～10000(立方米/小时)。

3.根据权利要求1所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的无极变速风机(6)包括风机(61)和无极变速器(62)，所述的无极变速器安装在风机上。

4.根据权利要求1所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：在所述的生产槽与第一个氨气回收子系统之间设有用于吸收运输车辆装载过程中外露气体的第一吸收装置(7)。

5.根据权利要求4所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的第一吸收装置(7)包括抽风管一(71)和抽风口(72)，所述的抽风口呈喇叭状，所述的抽风管一的一端与风管一连接，抽风管一的另一端与抽风口匹配连接。

6.根据权利要求5所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的抽风管一的直径为180cm～220cm，所述的抽风口的最大口径为750cm～850cm，所述抽风口的最小直径与抽风管一的直径匹配。

7.根据权利要求1所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的风管一的直径为400cm～450cm。

8.根据权利要求1～7任一项所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的氨气回收子系统为四个，分别是第一个氨气回收子系统、第二个氨气回收子系统、第三个氨气回收子系统和第四个氨气回收子系统，四个氨气回收子系统依次连接。

9.根据权利要求8所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：在第一个氨气回收子系统和第二个氨气回收子系统之间设有用于吸收运输车辆装载过程中外露气体的第二吸收装置(8)。

10.根据权利要求9所述的用于碱性蚀刻液生产的抽风系统，其特征在于：所述的第二吸收装置为抽风管二，抽风管二的直径为250cm～350cm。