[实用新型]一种硅片花篮搬运抓手机构有效
| 申请号： | 202120070209.0 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN214411152U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 杨张宇 | 申请（专利权）人： | 釜川（无锡）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 刘梅 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 花篮 搬运 抓手 机构 | ||
1.一种硅片花篮搬运抓手机构，包括花篮抓手旋转气缸（1），其特征在于，所述花篮抓手旋转气缸（1）的底部转动连接有安装板，所述安装板远离花篮抓手旋转气缸（1）的一侧上安装有花篮抓手夹紧气缸（2），所述花篮抓手夹紧气缸（2）的两端均通过连接装置连接有夹紧板（7），所述夹紧板（7）呈“T”字状板型结构，所述夹紧板（7）远离花篮抓手夹紧气缸（2）的一端的两侧分别固定有第一花篮抓手挂钩（3）和第二花篮抓手挂钩（5），一侧所述夹紧板（7）的板面上设有开口，且开口内安装有到位传感器（6），所述到位传感器（6）的感应端面向另一侧的夹紧板（7），所述到位传感器（6）通过连接线与花篮抓手夹紧气缸（2）连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片花篮搬运抓手机构，其特征在于，所述花篮抓手旋转气缸（1）的顶部安装有Z轴上下连接板（9），所述花篮抓手旋转气缸（1）通过Z轴上下连接板（9）与驱动装置相连。
3.根据权利要求1所述的一种硅片花篮搬运抓手机构，其特征在于，所述安装板的两侧均安装有护罩（8）。
4.根据权利要求1所述的一种硅片花篮搬运抓手机构，其特征在于，所述花篮抓手夹紧气缸（2）的下方设置有花篮（4），所述花篮（4）位于两侧夹紧板（7）之间。
5.根据权利要求4所述的一种硅片花篮搬运抓手机构，其特征在于，所述花篮（4）的两侧均安装有固定板，所述固定板的顶部两侧均设置有豁口，固定板通过两侧豁口分别于第一花篮抓手挂钩（3）和第二花篮抓手挂钩（5）连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于釜川（无锡）智能科技有限公司，未经釜川（无锡）智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120070209.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有罐身加热机构的树脂罐加热装置
- 下一篇：一种硅片上料机构
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
