[实用新型]一种扩膜机有效

专利信息
申请号: 202120092552.5 申请日: 2021-01-13
公开(公告)号: CN214175998U 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 夏芳;谭莲燕;常进 申请(专利权)人: 武汉优一等半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L33/00;H05F3/04
代理公司: 武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238 代理人: 易滨
地址: 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩膜机
【权利要求书】:

1.一种扩膜机,其特征在于,包括:框架机构(1)、顶膜机构(2)、压膜机构(3)、离子风机(4)、硅屑收集槽(5)和控制系统(6),其中:

所述框架机构(1)固定连接在上基板(7)和下基板(8)之间;

所述顶膜机构(2)包括可上下移动的第一驱动件(21)、设置在其中的加热组件(22)、与所述第一驱动件(21)下方连接的载台(23)以及与所述框架机构(1)连接的切割环固定平台(24),所述顶膜机构(2)固定在所述上基板(7)的下表面,用于固定加热组件(22)、对LED胶膜进行加热以及将LED胶膜扩膜;

所述压膜机构(3)包括可上下移动的第二驱动件(31)、与所述第二驱动件(31)上表面连接的环形压膜件(32)以及位于所述环形压膜件(32)内侧的环形切割件(33),所述压膜机构(3)固定在所述下基板(8)的上表面,用于固定所述LED胶膜、切割所述LED胶膜以及对LED胶膜去静电;

所述离子风机(4)设置在所述框架机构(1)的下侧附近,并适于吹出去静电的离子风;

所述硅屑收集槽(5)设置在所述压膜机构(3)的下端,用于收集掉落的硅屑;

所述控制系统(6),用于控制所述顶膜机构(2)和所述压膜机构(3)的电机和气缸,并接受传感器信号。

2.根据权利要求1所述的扩膜机,其特征在于,所述框架机构(1)为由四根立柱组成的方形结构,所述立柱的两端分别与所述上基板(7)和所述下基板(8)相连接。

3.根据权利要求1所述的扩膜机,其特征在于,所述切割环固定平台(24)的竖直方向开设有圆形阶梯通槽(241),所述圆形阶梯通槽(241)适于放置所述LED胶膜。

4.根据权利要求3所述的扩膜机,其特征在于,所述顶膜机构(2)还包括切割环(25),所述切割环(25)适于固定在所述切割环固定平台(24)的所述圆形阶梯通槽(241)内。

5.根据权利要求4所述的扩膜机,其特征在于,所述环形压膜件(32)压紧件为电磁铁。

6.根据权利要求5所述的扩膜机,其特征在于,还包括剔粒组件(9),所述剔粒组件(9)包括连接杆(91)、第三驱动件(92)以及用于圆周环绕清除晶粒的清除件(93),所述连接杆(91)的一端与所述清除件(93)连接,另一端与所述第三驱动件(92)固定连接,所述剔粒组件(9)固定连接于所述环形切割件(33),所述环形切割件(33)与所述LED胶膜的表面接触时,所述清除件(93)接触所述载台(23)的上表面。

7.根据权利要求6所述的扩膜机,其特征在于,所述载台(23)的载面尺寸小于所述LED胶膜的尺寸。

8.根据权利要求6所述的扩膜机,其特征在于,所述控制系统(6)包括启动按钮(61)、设置按钮(62)以及紧急暂停按钮(63),所述设置按钮(62)用于设定所述第一驱动件(21)、所述第二驱动件(31)和所述第三驱动件(92)的移动速度以及所述加热组件(22)的温度。

9.根据权利要求1所述的扩膜机,其特征在于,所述载台(23)的直径尺寸小于所述环形压膜件(32)内径尺寸。

10.根据权利要求3所述的扩膜机,其特征在于,所述圆形阶梯通槽(241)还设有所述加热组件(22)。

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