[实用新型]一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台有效

专利信息
申请号: 202120093522.6 申请日: 2021-01-14
公开(公告)号: CN214894956U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 范群波;苑京久;余洪;朱新杰;王朵朵;陈凯;贡海超 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G01N23/22 分类号: G01N23/22;G01N23/2204
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 周蜜;杨志兵
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 分析 试样 表面 腐蚀 产物 截面 扫描电镜 样品
【权利要求书】:

1.一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台,其特征在于:所述样品台由样品座和基座组成;

样品座为一体化结构,由样品座贴样部位(1)、样品座夹取部位(2)以及样品座固定头(3)组成;所述样品座夹取部位(2)位于样品座贴样部位(1)的下方;所述样品座固定头(3)位于样品座夹取部位(2)的下方;

所述样品座贴样部位(1)具有4个垂直面;

所述样品座夹取部位(2)用于夹取样品座的部位;

所述基座由基座台(5)和基座固定头(6)组成;

所述基座台(5)上分布若干个固定孔(4),所述样品座固定头(3)通过与固定孔(4)配合使用,将样品座与基座连接;

所有的固定孔(4)可以同时放置样品座;

所述固定孔(4)为直径相同的通孔;

所述基座固定头(6)位于基座台(5)下方,将所述样品台固定安装于扫描电镜样品仓内。

2.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台,其特征在于:所述样品座贴样部位(1)为长方体。

3.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台,其特征在于:所述样品座夹取部位(2)为中间带一环形凹槽的圆柱体。

4.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台,其特征在于:所述样品座固定头(3)的底端为圆锥形。

5.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台,其特征在于:基座台(5)上设置一个中心固定孔(4),中心固定孔(4)外围设置若干固定孔(4),外围相邻固定孔(4)间的距离相等,且外围每个固定孔(4)与中心固定孔(4)间距相等。

6.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台,其特征在于:所述样品座贴样部位(1)为长方体;

所述样品座夹取部位(2)为中间带一环形凹槽的圆柱体;

所述样品座固定头(3)的底端为圆锥形;

基座台(5)上设置一个中心固定孔(4),中心固定孔(4)外围设置若干固定孔(4),外围相邻固定孔(4)间的距离相等,且外围每个固定孔(4)与中心固定孔(4)间距相等。

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