[实用新型]一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台

说明书

本实用新型涉及一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，属于材料腐蚀产物分析设备领域。所述样品台由样品座和基座组成；其中，样品座由样品座贴样部位、样品座夹取部位以及样品座固定头组成；所述样品座夹取部位位于样品座贴样部位的下方；所述样品座固定头位于样品座夹取部位的下方；所述基座由基座台和基座固定头组成；所述样品台结构简单，待测样品分析无需镶样，简化了腐蚀产物层截面试样繁琐的制备过程、解决了分析效率低的问题，使用时便捷高效。

技术领域

本实用新型涉及一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，属于材料腐蚀产物分析设备领域。

背景技术

腐蚀产物截面分析是材料腐蚀领域的重要分析手段。通过腐蚀产物截面形貌、厚度分析可以确定材料腐蚀的类型，如点腐蚀、局部腐蚀等，还可以判定材料腐蚀的程度。

扫描电子显微镜(简称：扫描电镜)是一种用于腐蚀产物层截面形貌和厚度分析的先进电子设备。扫描电镜和能谱仪相结合可以确定各元素在腐蚀产物层中的分布情况，有利于探究材料的腐蚀机理。

目前在腐蚀产物层截面分析前需要进行样品制备，一般情况下，被测样品为片状，而现有技术中，扫描电镜样品台的贴样部位为平面结构，在观察被测样品的截面时，片状的被测样品需要以竖直的状态被观察，这样的话不容易固定，所以，片状的被测样品在检测前，需要经过复杂的制样过程，即将腐蚀后的片状金属样品用环氧树脂密封，进行镶样，镶样有利于被测样品的固定；但是，镶样会影响被测样品的截面，不利于观察，所以镶样完成后，再打磨出截面，再使用导电胶将环氧树脂密封的试样黏贴在扫描电镜自带样品台上；被测样品的制备过程繁琐，工作效率慢且样品无法再进行其他检测。现有的一些专门用于截面分析的样品台结构设计复杂，加工制备繁杂。因此，提升检测效率，同时设计制备加工简便的样品台是目前急需解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，所述样品台结构简单，待测样品分析无需镶样，简化了腐蚀产物层截面试样繁琐的制备过程、解决了分析效率低的问题，使用时便捷高效。

为实现本实用新型的目的，提供如下技术方案。

一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，所述样品台由样品座和基座组成；

其中，样品座由样品座贴样部位、样品座夹取部位以及样品座固定头组成；所述样品座夹取部位位于样品座贴样部位的下方；所述样品座固定头位于样品座夹取部位的下方。

所述样品座是一体化结构，即样品座使用时无需将样品座贴样部位、样品座夹取部位以及样品座固定头再进行组装。

所述样品座贴样部位具有4个垂直面，以用于黏贴待测试样。

优选，所述样品座贴样部位为长方体。

所述样品座夹取部位是用于夹取样品座的部位。

优选，所述样品座夹取部位为中间带一环形凹槽的圆柱体。

所述样品座固定头通过与基座台分布的固定孔配合使用，以将样品座与基座连接。

优选，所述样品座固定头的底端为圆锥形。

所述基座由基座台和基座固定头组成。

所述基座台上分布若干个固定孔，固定孔的设置满足基座台上所有的固定孔可以同时放置样品座。

优选，基座台上设置一个中心固定孔，中心固定孔外围设置若干固定孔，外围相邻固定孔间的距离相等，且外围每个固定孔与中心固定孔间距相等。

所述固定孔为直径相同的通孔。

所述基座固定头位于基座台下方。