[实用新型]一种CMP抛光垫压缩比测量装置

权利要求书

1.一种CMP抛光垫压缩比测量装置，包括：支撑装置(1)、调节装置(2)、测量装置(3)和计算装置(4)，其特征在于，所述测量装置(3)包括：电缸(31)、扁担(32)、两根第一导向轴(33)和两根第二导向轴(34)，第一砝码(35)、第二砝码(36)、指示表(37)和平面测头(38)，其中，电缸(31)位于扁担(32)之上，所述扁担(32)通过螺栓与第一导向轴(33)和第二导向轴(34)连接，所述第一导向轴(33)用于第一砝码(35)的固定，所述第二导向轴(34)贯通第一砝码的通孔，用于第二砝码(36)的固定，所述第二砝码(36)位于第一砝码(35)下方，所述指示表(37)位于第二砝码(36)下方且与平面测头(38)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述支撑装置(1)包括台架(11)和立柱(12)，其中，所述立柱(12)固定于台架(11)上。

3.根据权利要求1所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述调节装置(2)包括光轴夹具(21)、第一调节器(22)、第二调节器(23)和第三调节器(24)，所述光轴夹具(21)和第一调节器(22)安装于立柱(12)上，所述光轴夹具(21)和第一调节器(22)可在立柱(12)轴向上下滑动，所述第二调节器(23)与第一调节器(22)固定连接，所述第二调节器(23)与第三调节器(24)通过固定垫片连接，所述第三调节器(24)还设置有固定孔，所述平面测头(38)贯穿第三调节器(24)的固定孔。

4.根据权利要求3所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述光轴夹具(21)设置有固定孔(211)，用于光轴夹具(21)的固定，所述第一调节器(22)、第二调节器(23)和第三调节器(24)上分别设置有第一紧固旋钮(221)、第二紧固旋钮(222)和第三紧固旋钮(223)，所述第一紧固旋钮(221)用于第一调节器(22)的固定，所述第二紧固旋钮(222)用于第二调节器(23)和第三调节器(24)之间距离的微调，所述第三紧固旋钮(223)用于平面测头(38)的紧固。

5.根据权利要求3所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述光轴夹具(21)上方与电缸(31)固定连接，所述光轴夹具(21)下方与扁担(32)连接，其中光轴夹具(21)和扁担(32)之间的距离为3-5cm。

6.根据权利要求1所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述计算装置(4)包括计算终端(41)和触摸屏(42)所述计算终端(41)与指示表(37)通信连接。

7.根据权利要求1所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述第二砝码(36)上设置有限位块(361)，所述第一砝码(35)下设置有限位槽(351)。

8.根据权利要求2所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，所述台架(11)为花岗岩台架，所述台架(11)还设置有加工沟槽和真空通道。

9.根据权利要求6所述的一种CMP抛光垫压缩比测量装置，其特征在于，计算终端(41)与指示表(37)选择通过以太网有线、蓝牙、WiFi、4G、5G无线连接方式中的一种。