[实用新型]一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽有效

专利信息
申请号: 202120124438.6 申请日: 2021-01-18
公开(公告)号: CN213752662U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 郭万武;康海涛;樊选东;关统洲 申请(专利权)人: 中建材浚鑫科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/306;H01L31/20
代理公司: 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 代理人: 赵贵春
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 金刚 切割 多晶 硅片 制绒槽
【权利要求书】:

1.一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,包括用于输送硅片(4)的输送架和顶部敞口的槽体(1),所述输送架包括多个并排分布且转动设置于槽体(1)内的下滚轮(2),所述下滚轮(2)的上方设置有与其转动方向相反的上滚轮(3),所述上滚轮(3)和所述下滚轮(2)之间设置有供硅片(4)通过的间隙,所述上滚轮(3)的外侧壁上密布有凸起(5),其特征在于:

所述槽体(1)内滑动设置有浮动件(6),所述浮动件(6)用于调节所述上滚轮(3)和所述下滚轮(2)之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述输送架还包括相连接的转动件(7)和驱动单元(8),所述转动件(7)与所述下滚轮(2)一一对应,所述转动件(7)为绕其轴心线转动且转动方向与下滚轮(2)转动方向相同的转环或者转轴;所述转动件(7)固定有第一接触件(9),所述下滚轮(2)固定有第二接触件(10),所述第一接触件(9)和所述第二接触件(10)相抵接。

3.根据权利要求2所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述下滚轮(2)为中空结构,所述浮动件(6)设置于所述下滚轮(2)内,所述下滚轮(2)上开设有与其内腔连通的通孔(2-1)。

4.根据权利要求3所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述通孔(2-1)开设于所述下滚轮(2)的端部;所述转动件(7)为转轴且穿设于所述通孔(2-1)中。

5.根据权利要求3所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述通孔(2-1)开设于所述下滚轮(2)的侧壁;所述转动件(7)为套设于所述下滚轮(2)外的转环。

6.根据权利要求2所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述浮动件(6)设置于所述下滚轮(2)的下方;所述转动件(7)为套设于所述下滚轮(2)外的转环。

7.根据权利要求2所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述驱动单元(8)包括链轮链条(8a)和转动设置于所述链轮链条(8a)内侧的多个齿轮(8b),所述齿轮(8b)与所述链轮链条(8a)相配合且与所述转动件(7)一一对应固定连接,所述槽体(1)固定有电机(8c),所述电机(8c)的输出端与其中一个齿轮(8b)固定连接。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述凸起(5)由硅胶或者橡胶制成。

9.根据权利要求8所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述凸起(5)为半球形。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,其特征在于:所述下滚轮(2)上设置有若干组限位环(11),各组限位环(11)沿所述下滚轮(2)的轴心线方向间隔分布;各组限位环(11)中,限位环(11)均设置有两个;所述限位环(11)的内缘与所述下滚轮(2)的外缘固定连接。

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