[实用新型]胶带卷收装置

权利要求书

1.一种胶带卷收装置，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，其特征在于：该胶带卷收装置包含：

承载架；

传送单元，设于该承载架，并包括出料机构及收料机构，以供胶带自该出料机构输出且由该收料机构卷收，而在该出料机构与该收料机构之间形成传送路径；

清洁单元，设于该承载架，并包括位于该传送路径上的清洁滚轮，该清洁滚轮用以导引胶带接触待清洁的晶圆；

导向单元，设于该承载架，并包括多个分布于该传送路径上的导向轮，以导引胶带的传送方向；及

张力调整单元，包括设于该承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于该轨道的滑动座、设于该滑动座并能连动该滑动座且位于该传送路径上的滑轮，及设于该滑动座并与该滑动座连动的配重体，该配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且该滑轮下侧与胶带接触。

2.根据权利要求1所述的胶带卷收装置，其特征在于：该张力调整单元位于该出料机构及该收料机构之间。

3.根据权利要求1所述的胶带卷收装置，其特征在于：该传送路径自该出料机构起始，先通过该滑轮，再通过其中至少一导向轮，而后通过该清洁滚轮，再通过其中至少一导向轮，最后至该收料机构终止。

4.根据权利要求3所述的胶带卷收装置，其特征在于：该收料机构的位置高度低于该出料机构且该收料机构的位置相较于该出料机构邻近该清洁滚轮，该清洁滚轮位于该出料机构与该收料机构的同一侧且该清洁滚轮的位置高度介于该出料机构与该收料机构之间。

5.根据权利要求4所述的胶带卷收装置，其特征在于：该滑轮位于该出料机构与该收料机构的同一侧且该滑轮与该清洁滚轮分别位于该出料机构与该收料机构的相反两侧。