[实用新型]胶带卷收装置

说明书

一种胶带卷收装置，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，并包含承载架及设于承载架的传送单元、清洁单元、导向单元及张力调整单元。传送单元包括出料机构及收料机构，以供胶带自出料机构输出且由收料机构卷收而形成传送路径。张力调整单元包括设于承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于轨道的滑动座、设于滑动座并能连动滑动座且位于传送路径上的滑轮，及设于滑动座并与滑动座连动的配重体，配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且滑轮下侧与胶带接触。随着滑轮位置的动态调整，能使胶带保持固定张力。

技术领域

本实用新型涉及一种胶带卷收装置，特别是涉及一种用于半导体制程利用胶带黏附除去晶圆表面微粒的胶带卷收装置。

背景技术

在半导体制程中，晶圆表面的洁净度对于制程良率有显著影响，因此对于晶圆表面的微粒都要尽可能的清除。

目前有一种清洁晶圆表面的方式，是利用胶带黏附晶圆表面的微粒以清洁晶圆表面。为了能连续作业，胶带先卷绕成卷以由传送装置在出料机构及收料机构之间传送，并使胶带通过滚轮接触晶圆表面以黏附微粒。由于成卷的胶带(下称胶带卷)由出料机构输出时，胶带卷的胶带量逐渐减少而使半径逐渐缩小，相反地，在收料机构卷收的胶带卷的胶带量逐渐增加而使半径逐渐增加，如此使得在胶带传送过程中，在出料机构的胶带卷与在收料机构的胶带卷的转距都在变化，而无法精准匹配出料机构与收料机构的转速以使胶带保持适当张力，造成胶带偏摆或产生皱折，进而影响胶带回收的稳定性。也就是说，当胶带回收时，若产生偏摆或皱折，即会影响胶带整体的运转，会导致制程不稳定并增加排除故障的作业成本。

发明内容

本实用新型的一目的在于提供一种可以解决前述问题的胶带卷收装置。

本实用新型的胶带卷收装置在一些实施态样中，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，该胶带卷收装置包含：承载架、传送单元、清洁单元、导向单元及张力调整单元。该传送单元设于该承载架，并包括出料机构及收料机构，以供胶带自该出料机构输出且由该收料机构卷收，而在该出料机构与该收料机构之间形成传送路径。该清洁单元设于该承载架，并包括位于该传送路径上的清洁滚轮，该清洁滚轮用以导引胶带接触待清洁的晶圆。该导向单元设于该承载架，并包括多个分布于该传送路径上的导向轮，以导引胶带的传送方向。该张力调整单元包括设于该承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于该轨道的滑动座、设于该滑动座并能连动该滑动座且位于该传送路径上的滑轮，及设于该滑动座并与该滑动座连动的配重体，该配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且该滑轮下侧与胶带接触。

在一些实施态样中，该张力调整单元位于该出料机构及该收料机构之间。

在一些实施态样中，该传送路径自该出料机构起始，先通过该滑轮，再通过其中至少一导向轮，而后通过该清洁滚轮，再通过其中至少一导向轮，最后至该收料机构终止。

在一些实施态样中，该收料机构的位置高度可低于该出料机构且该收料机构的位置相较于该出料机构邻近该清洁滚轮，该清洁滚轮位于该出料机构与该收料机构的同一侧且该清洁滚轮的位置高度介于该出料机构与该收料机构之间。

在一些实施态样中，该滑轮位于该出料机构与该收料机构的同一侧且该滑轮与该清洁滚轮分别位于该出料机构与该收料机构的相反两侧。

本实用新型具有以下功效：随着滑轮位置的动态调整，使胶带张力与配重体产生的重力保持平衡，即能使胶带保持固定的张力，从而使传送及回收胶带的运转过程保持稳定顺畅，以提高制程稳定性并降低需要排除故障的作业成本。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是本实用新型胶带卷收装置的实施例的示意图；及，

图2是类似图1的示意图，其中该实施例的张力调整单元在不同位置。

具体实施方式