[实用新型]一种扫描电子束机器载台

权利要求书

1.一种扫描电子束机器载台，其特征在于，包括基板(1)、摆动机构、载板(2)和移动机构；所述基板(1)通过摆动件可上下摆动的安装在工作台上；所述摆动机构安装在工作台上且对应所述基板(1)下方的位置，其连接并驱动所述基板(1)上下摆动；所述载板(2)处于所述基板(1)的上方且用于放置工件，所述移动机构固定在所述基板(1)上，并且所述移动机构连接并驱动所述载板(2)相对所述基板(1)水平移动。

2.根据权利要求1所述的扫描电子束机器载台，其特征在于，所述摆动件包括球头杆(3)和球壳(4)；所述球壳(4)固定在工作台上，所述球头杆(3)的球头端可摆动处于所述球壳(4)内，其另一端竖直向上延伸后固定连接所述基板(1)底部的中间位置。

3.根据权利要求1所述的扫描电子束机器载台，其特征在于，所述摆动机构包括两个摆动电机(5)；两个所述摆动电机(5)分别固定在工作台上且对应所述基板(1)相邻两侧下方的位置处，并且两个所述摆动电机(5)输出端朝上设置且分别通过连接件连接所述基板(1)相邻的两侧。

4.根据权利要求3所述的扫描电子束机器载台，其特征在于，所述连接件包括转动叉(6)和螺杆(7)；所述转动叉(6)的一侧通过销轴(8)可转动的连接所述基板(1)相邻两侧中相应的一侧，所述螺杆(7)的下端固定连接相应的所述摆动电机(5)的输出端，其上端螺纹贯穿所述转动叉(6)的另一侧。

5.根据权利要求4所述的扫描电子束机器载台，其特征在于，所述转动叉(6)为一侧封闭另一侧开口的U型块结构；所述销轴(8)的一端固定连接所述转动叉(6)封闭的一侧，另一端可转动连接所述基板(1)相邻两侧中相应的一侧的中间位置；在所述转动叉(6)开放的一侧内固定有连杆(9)，所述螺杆(7)的上端螺纹贯穿所述连杆(9)。

6.根据权利要求1至5任一项所述的扫描电子束机器载台，其特征在于，所述移动机构包括第一移动电机(10)和第二移动电机(11)；所述第一移动电机(10)和所述第二移动电机(11)分别固定在所述基板(1)上，并且所述第一移动电机(10)的输出端横向设置，所述第二移动电机(11)的输出端纵向设置；在所述第一移动电机(10)的输出端并排设有两个横向传动齿轮(12)，在所述第二移动电机(11)的输出端设有一个纵向传动齿轮(13)；所述载板(2)的底部设有与所述横向传动齿轮(12)和所述纵向传动齿轮(13)啮合的齿结构。