[实用新型]一种扫描电子束机器载台

说明书

本实用新型涉及一种扫描电子束机器载台，包括基板、摆动机构、载板和移动机构；所述基板通过摆动件可上下摆动的安装在工作台上；所述摆动机构安装在工作台上且对应所述基板下方的位置，其连接并驱动所述基板上下摆动；所述载板处于所述基板的上方且用于放置工件，所述移动机构固定在所述基板上，并且所述移动机构连接并驱动所述载板相对所述基板水平移动。该载台的有益效果是：(1)结构新颖，设计合理，安装简单；(2)实现载板上下摆动一定角度，进而实现工件和扫描头成可变角度，扫描带斜面的工件；(3)实现载板在水平面内任意移动，配合电子束扫描头的移动，采用与载板同相移动和相向移动来扩大扫描头相对工件的移动速度的调节范围。

技术领域

本实用新型涉及电子束加工领域，具体涉及一种扫描电子束机器载台。

背景技术

电子束加工是利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法的统称。它是利用电子束的能量对材料进行加工，是完全不同于机械加工的一种新型加工方法，包括电子束焊接、打孔、表面处理、熔炼、镀膜、物理气相沉积等。电子束具有高能量密度、易于控制和调节等优点，在继电子束焊接和熔炼应用之后，又开始在材料表面处理中得到引人注目的发展，目前电子束材料表面处理包括合金化、抛光、熔覆、蒸镀等。随着高能电子束加工技术的发展，电子束表面处理技术的处理方法及应用范围也在不断增加。目前，某些电子束表面改性技术已经成功的应用到实际生产中。

目前存在的电子束机器的载台固定不动，只能单一的靠电子束机器的扫描头的左右移动来实现对多个工件的扫面，对于不同面、不同方向的扫描还需要再次调整工件，再将工作空间抽真空，不是很方便，加工效率非常低。

实用新型内容

综上所述，为克服现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种扫描电子束机器载台。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种扫描电子束机器载台，包括基板、摆动机构、载板和移动机构；所述基板通过摆动件可上下摆动的安装在工作台上；所述摆动机构安装在工作台上且对应所述基板下方的位置，其连接并驱动所述基板上下摆动；所述载板处于所述基板的上方且用于放置工件，所述移动机构固定在所述基板上，并且所述移动机构连接并驱动所述载板相对所述基板水平移动。

本实用新型的有益效果是：

(1)结构新颖，设计合理，安装简单；

(2)可以实现载板上下摆动一定角度，进而实现工件和扫描头成可变角度，扫描带斜面的工件；

(3)可以实现载板在水平面内任意移动，配合电子束扫描头的移动，采用与载板同向移动和相向移动来扩大扫描头相对工件的移动速度的调节范围。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步，所述摆动件包括球头杆和球壳；所述球壳固定在工作台上，所述球头杆的球头端可摆动处于所述球壳内，其另一端竖直向上延伸后固定连接所述基板底部的中间位置。

采用上述进一步方案的有益效果是：实现基板可上下摆动的安装在工作台上。

进一步，所述摆动机构包括两个摆动电机；两个所述摆动电机分别固定在工作台上且对应所述基板相邻两侧下方的位置处，并且两个所述摆动电机输出端朝上设置且分别通过连接件连接所述基板相邻的两侧。

采用上述进一步方案的有益效果是：通过摆动电机实现基板即载板的上下摆动。

进一步，所述连接件包括转动叉和螺杆；所述转动叉的一侧通过销轴可转动的连接所述基板相邻两侧中相应的一侧，所述螺杆的下端固定连接相应的所述摆动电机的输出端，其上端螺纹贯穿所述转动叉的另一侧。

采用上述进一步方案的有益效果是：摆动电机驱动转动叉上下移动以实现基板即载板的上下摆动。