[实用新型]通用型石英舟治具

说明书

本实用新型公开了一种通用型石英舟治具，包括顶齿组件，顶齿组件包括多组顶齿，顶齿组件为多组顶齿的固设组合体，每个顶齿上设置有用于承托硅片的放置腔；还包括导插件，每个放置腔内设置有导插件，导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插。本实用新型在顶齿的放置腔内设置导插件，导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插，解决了现有技术装载硅片的装置无法兼容硅片直插和硅片斜插的缺点，通用性高，方便实用。

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及通用型石英舟治具。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上。半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载硅片，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。传统的装载硅片的装置一种是适用于硅片直插，另一种是适用于硅片斜插，因此缺少一种可兼容硅片直插和硅片斜插的装置，其通用性较差。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种通用型石英舟治具，包括顶齿组件，所述顶齿组件包括多组顶齿，所述顶齿组件为多组顶齿的固设组合体，每个所述顶齿上设置有用于承托硅片的放置腔；

还包括导插件，每个所述放置腔内设置有导插件，所述导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插。

采用以上技术方案，所述导插件包括第一抵接部和第二抵接部，所述第一抵接部的一端连接第二抵接部，所述第二抵接部与所述第一抵接部的夹角为钝角。

采用以上技术方案，所述第二抵接部与所述第一抵接部的夹角为120°-150°。

采用以上技术方案，所述第一抵接部水平设置于放置腔内。

采用以上技术方案，所述第一抵接部具有用于硅片直插时抵接硅片的第一抵接面，所述第二抵接部具有用于硅片斜插时抵接硅片的第二抵接面。

采用以上技术方案，所述导插件为软质材料或硬质材料的导插件。

采用以上技术方案，顶齿组件包括连接销，多组顶齿通过连接销组装成顶齿组件。

采用以上技术方案，还包括支撑组件，所述支撑组件包括顶齿安装件，所述顶齿安装件上设置有插腔，所述顶齿组件插入到顶齿安装件内。

采用以上技术方案，支撑组件包括连接件，在所述顶齿安装件的至少一侧设置有连接件，所述连接销锁固在连接件上。

采用以上技术方案，所述支撑组件包括支撑件，所述支撑件上设置有顶齿安装件。

本实用新型的有益效果：本实用新型在顶齿的放置腔内设置导插件，导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插，解决了现有技术装载硅片的装置无法兼容硅片直插和硅片斜插的缺点，通用性高，方便实用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1上A部的局部放大示意图。

图3是图1上B部的局部放大示意图。

图4是本实用新型导插件的结构示意图。

图中标号说明：1、顶齿组件；11、顶齿；111、放置腔；12、连接销；2、导插件；21、第一抵接部；211、第一抵接面；22、第二抵接部；221、第二抵接面；3、支撑组件；31、顶齿安装件；32、连接件；33、支撑件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。