[实用新型]一种用于硅片清洗后的除湿装置

说明书

本实用新型提供一种用于硅片清洗后的除湿装置，涉及半导体领域。该用于硅片清洗后的除湿装置，包括底板，所述底板的下表面固定连接有支撑腿，所述底板的上表面固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有固定块，所述固定块的右侧固定连接有固定板，所述立柱的表面套接有活动环，所述活动环的右侧固定连接有活动板。该用于硅片清洗后的除湿装置，通过活动环、固定板、固定块、橡胶板、海绵层、活动板和第一液压杆的配合，达到可以将硅片表面的水分进行清除，通过第二液压杆和推杆的配合，达到可以将硅片进行推动，使得加快除湿速度，解决了现有的硅片清洗后主要采用晾干，此方式效率太低，同时也不易进行表面除湿的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种用于硅片清洗后的除湿装置。

背景技术

硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案，硅片生产流程中需要对于硅片进行表面清洗，现有的硅片清洗后主要采用晾干，此方式效率太低，同时也不易进行表面除湿。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于硅片清洗后的除湿装置，解决了现有的硅片清洗后主要采用晾干，此方式效率太低，同时也不易进行表面除湿的问题。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种用于硅片清洗后的除湿装置，包括底板，所述底板的下表面固定连接有支撑腿，所述底板的上表面固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有固定块，所述固定块的右侧固定连接有固定板，所述立柱的表面套接有活动环，所述活动环的右侧固定连接有活动板，所述活动板的上表面开设有与下表面相连通的排液孔，所述固定板和活动板相对的一侧均固定连接有橡胶板和海绵层，所述底板的上表面开设有与下表面相连通的通孔，所述底板的下表面固定连接有第一液压杆，所述第一液压杆的顶端贯穿通孔并与活动板的下表面固定连接，所述底板的上表面搭接有支撑杆，所述支撑杆的顶端固定连接有第二液压杆，所述第二液压杆的右端固定连接有推杆，所述立柱的左侧开设有与右侧相连通的活动孔，所述推杆的表面与活动孔的内部活动连接。

进一步的，所述底板的上表面开设有与下表面相连通的定位孔，所述定位孔的内部插接有螺栓，所述螺栓的顶端与支撑杆的底端固定连接。

进一步的，所述螺栓的表面螺纹连接有螺帽。

进一步的，所述第一液压杆的左右两侧均固定连接有加固杆，两个加固杆远离第一液压杆的一端与底板的下表面固定连接。

进一步的，所述立柱的左侧开设有与右侧相连通的滑动孔，所述滑动孔的内部滑动连接有限位杆。

进一步的，所述限位杆的左右两端分别与活动环的左右两侧内壁固定连接。

本实用新型提供了一种用于硅片清洗后的除湿装置。具备以下有益效果：

1、该用于硅片清洗后的除湿装置，通过活动环、固定板、固定块、橡胶板、海绵层、活动板和第一液压杆的配合，达到可以将硅片表面的水分进行清除，通过第二液压杆和推杆的配合，达到可以将硅片进行推动，使得加快除湿速度，解决了现有的硅片清洗后主要采用晾干，此方式效率太低，同时也不易进行表面除湿的问题。

2、该用于硅片清洗后的除湿装置，通过滑动孔和限位杆的配合，达到将活动环进行限位，使得活动板移动更加平稳，通过排液孔的设置，达到可以将海绵层内部的水进行排除。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构正视图。