[实用新型]一种硅片双面磨光设备

权利要求书

1.一种硅片双面磨光设备，包括磨光机本体(1)，其特征在于：所述磨光机本体(1)的内部设有限位装置(2)，所述限位装置(2)包括第一安装槽(201)、第一磁铁(202)和游星轮盘(203)，所述第一安装槽(201)设置在游星轮盘(203)的顶部，单个所述游星轮盘(203)上的第一安装槽(201)的数量为四个，所述第一磁铁(202)与第一安装槽(201)粘接，所述磨光机本体(1)的侧表面固定连接有转座(3)，所述转座(3)的数量为四个，四个所述转座(3)的内部均设有从动轴(4)，所述从动轴(4)的侧表面设有收取机构(5)，所述收取机构(5)包括连臂(501)、收取盘(502)、第二安装槽(503)和第二磁铁(504)，所述连臂(501)与从动轴(4)的侧表面固定连接，所述连臂(501)远离从动轴(4)的一端与收取盘(502)固定连接，所述第二安装槽(503)位于收取盘(502)的底部，所述第二安装槽(503)与第二磁铁(504)粘接，所述第二磁铁(504)与第一磁铁(202)互为异名磁体；

所述磨光机本体(1)的底部转动连接有驱动轴(7)，所述驱动轴(7)的底部固定连接有驱动轮盘(6)，所述磨光机本体(1)的底部固定连接有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出端传动连接有皮带(8)，所述皮带(8)远离伺服电机(9)的一端与驱动轴(7)传动连接，所述驱动轮盘(6)的侧表面传动连接有联动轮(12)，所述联动轮(12)的数量为四个，所述联动轮(12)的内部固定连接有联动轴(11)，所述联动轴(11)的顶端与磨光机本体(1)的底部转动连接，所述联动轴(11)与从动轴(4)通过链条(10)连接，所述磨光机本体(1)的底部固定连接有支脚(13)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨光设备，其特征在于：一个所述第一安装槽(201)位于游星轮盘(203)的中部，三个所述第一安装槽(201)以游星轮盘(203)的中心为圆心圆周分布。

3.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨光设备，其特征在于：相邻的两个所述转座(3)互相垂直分布，所述从动轴(4)的顶端与转座(3)的内顶壁转动连接，所述从动轴(4)的底端贯穿转座(3)的内底壁并延伸出转座(3)，所述从动轴(4)与转座(3)的内底壁转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨光设备，其特征在于：所述第二磁铁(504)的直径大于单个所述游星轮盘(203)上任意两个所述第一磁铁(202)圆心间的连线长度。

5.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨光设备，其特征在于：所述伺服电机(9)输出端的侧表面开设有凹槽，所述驱动轴(7)的侧表面开设有凹槽，所述皮带(8)的两端分别位于两个凹槽中。

6.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨光设备，其特征在于：四个所述联动轮(12)在驱动轮盘(6)的侧表面等角度分布，每个所述联动轮(12)分别与每个所述转座(3)的位置对应。

7.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨光设备，其特征在于：所述联动轴(11)的侧表面开设有轮齿，所述从动轴(4)的侧表面开设有轮齿，所述链条(10)分别与联动轴(11)上的轮齿以及从动轴(4)上的轮齿匹配。