[实用新型]一种硅片双面磨光设备

说明书

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片双面磨光设备，包括磨光机本体，所述磨光机本体的内部设有限位装置，所述限位装置包括第一安装槽、第一磁铁和游星轮盘。该硅片双面磨光设备，通过设置第一安装槽、第一磁铁、从动轴，连臂、收取盘、第二安装槽、第二磁铁、驱动轮盘、驱动轴、皮带、伺服电机、链条、联动轴和联动轮，当需要从游星轮盘中取出硅片时，可启动伺服电机带动驱动轮盘转动，使得四个联动轮转动，四个联动轮通过各个链条分别带动四个收取机构转动，使得收取盘带动第二磁铁转至游星轮盘的正上方，第一磁铁与第二磁铁相互吸引，使得游星轮盘被吸附，解决了当前的硅片双面打磨机不便于从游星轮盘中拿取硅片的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片双面磨光设备。

背景技术

硅片表面要进行光学研磨抛光批量生产，使用工艺为两种，第一种是硅片双面研磨抛光工艺，第二种是硅片单面研磨抛光工艺。

当前的硅片双面打磨机通过将待打磨的硅片放入到游星轮盘中进行打磨，由于硅片和游星轮盘的厚度接近，因此，会对工作人员的收取造成一定的困难，存在难以从游星轮盘中拿取硅片的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片双面磨光设备，具备便于分离游星轮盘和硅片，有利于工作人员收取硅片的优点，解决了当前的硅片双面打磨机不便于从游星轮盘中拿取硅片的问题。

(二)技术方案

为实现上述便于分离游星轮盘和硅片，有利于工作人员收取硅片的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片双面磨光设备，包括磨光机本体，所述磨光机本体的内部设有限位装置，所述限位装置包括第一安装槽、第一磁铁和游星轮盘，所述第一安装槽设置在游星轮盘的顶部，单个所述游星轮盘上的第一安装槽的数量为四个，所述第一磁铁与第一安装槽粘接，所述磨光机本体的侧表面固定连接有转座，所述转座的数量为四个，四个所述转座的内部均设有从动轴，所述从动轴的侧表面设有收取机构，所述收取机构包括连臂、收取盘、第二安装槽和第二磁铁，所述连臂与从动轴的侧表面固定连接，所述连臂远离从动轴的一端与收取盘固定连接，所述第二安装槽位于收取盘的底部，所述第二安装槽与第二磁铁粘接，所述第二磁铁与第一磁铁互为异名磁体。

所述磨光机本体的底部转动连接有驱动轴，所述驱动轴的底部固定连接有驱动轮盘，所述磨光机本体的底部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端传动连接有皮带，所述皮带远离伺服电机的一端与驱动轴传动连接，所述驱动轮盘的侧表面传动连接有联动轮，所述联动轮的数量为四个，所述联动轮的内部固定连接有联动轴，所述联动轴的顶端与磨光机本体的底部转动连接，所述联动轴与从动轴通过链条连接，所述磨光机本体的底部固定连接有支脚。

优选的，一个所述第一安装槽位于游星轮盘的中部，三个所述第一安装槽以游星轮盘的中心为圆心圆周分布。

优选的，相邻的两个所述转座互相垂直分布，所述从动轴的顶端与转座的内顶壁转动连接，所述从动轴的底端贯穿转座的内底壁并延伸出转座，所述从动轴与转座的内底壁转动连接。

优选的，所述第二磁铁的直径大于单个所述游星轮盘上任意两个所述第一磁铁圆心间的连线长度。

优选的，所述伺服电机输出端的侧表面开设有凹槽，所述驱动轴的侧表面开设有凹槽，所述皮带的两端分别位于两个凹槽中。

优选的，四个所述联动轮在驱动轮盘的侧表面等角度分布，每个所述联动轮分别与每个所述转座的位置对应。

优选的，所述联动轴的侧表面开设有轮齿，所述从动轴的侧表面开设有轮齿，所述链条分别与联动轴上的轮齿以及从动轴上的轮齿匹配。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片双面磨光设备，具备以下有益效果：