[实用新型]一种石英舟定位机构有效
| 申请号： | 202120154296.8 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214588785U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;邓大桥 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 定位 机构 | ||
1.一种石英舟定位机构，其特征在于，包括承载底座和分别设置在承载底座两端的推压定位装置和止挡部，所述承载底座包括滑轨和沿滑轨滑动的支撑台，所述支撑台用于承载石英舟，所述推压定位装置将石英舟压紧固定在止挡部上。
2.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，包括两个承载底座，两个承载底座间隔设置，其中一个承载底座靠近推压定位装置设置，另一个承载底座靠近止挡部设置，两个承载底座上的支撑台分别支撑石英舟的两端。
3.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述滑轨为“工”字型滑轨，所述支撑台上设置有与“工”字型滑轨匹配的连接部，所述连接部为“工”字型滑槽。
4.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述支撑台上有支撑块，所述支撑块侧面斜边角度和石英舟舟脚倾斜角度一致。
5.如权利要求4所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述支撑块采用peek材质制成。
6.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述承载底座、推压定位装置和止挡部均设置在底板上，所述底板呈窗框型，所述底板中部为矩形的窗孔。
7.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述推压定位装置和止挡部与石英舟的接触位置均设置有橡胶压块。
8.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，还包括复位气缸，所述复位气缸的输出端与所述承载底座上的支撑台连接，所述复位气缸带动所述支撑台移动。
9.如权利要求1所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述推压定位装置包括压紧气缸。
10.如权利要求9所述的石英舟定位机构，其特征在于，所述压紧气缸固定安装在气缸安装座上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
