[实用新型]一种石英舟定位机构

说明书

本实用新型公开了一种石英舟定位机构，包括承载底座和分别设置在承载底座两端的推压定位装置和止挡部，所述承载底座包括滑轨和沿滑轨滑动的支撑台，所述支撑台用于承载石英舟，所述推压定位装置将石英舟压紧固定在止挡部上。本实用新型的承载底座采用滑轨和沿滑轨滑动的支撑台结构，保证支撑台能够相对于滑轨滑动，在推压定位装置和止挡部对石英舟的位置进行固定时，石英舟放置在支撑台上，并随支撑台在滑轨上滑动，保证定位过程中和和定位复位时，石英舟不会相对于支撑台滑动，能够保护石英舟，防止石英舟与支撑台之间摩擦，防止石英舟损伤。

技术领域

本实用新型涉及光伏生产设备领域，具体涉及一种石英舟定位机构。

背景技术

硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。

在扩散制结过程中，需要将石英舟传输至特定位置，然后将石英舟取出进行加工，加工完成后，需要将石英舟放入托盘中，石英舟与托盘之间会发生相对滑动，导致石英舟无法准确定位，在抓取和放置的过程中出现偏差。

现有技术的石英舟定位装置，在进行定位和定位复位后，石英舟会在托盘内滑动，容易造成石英舟与托盘之间的摩擦碰撞，造成石英舟损伤。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种石英舟定位机构，保证在对石英舟定位和定位复位时，石英舟不会相对于支撑台滑动，能够保护石英舟。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种石英舟定位机构，包括承载底座和分别设置在承载底座两端的推压定位装置和止挡部，所述承载底座包括滑轨和沿滑轨滑动的支撑台，所述支撑台用于承载石英舟，所述推压定位装置将石英舟压紧固定在止挡部上。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括两个承载底座，两个承载底座间隔设置，其中一个承载底座靠近推压定位装置设置，另一个承载底座靠近止挡部设置，两个承载底座上的支撑台分别支撑石英舟的两端。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述滑轨为“工”字型滑轨，所述支撑台上设置有与“工”字型滑轨匹配的连接部，所述连接部为“工”字型滑槽。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述支撑台上有支撑块，所述支撑块侧面斜边角度和石英舟舟脚倾斜角度一致。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述支撑块采用peek材质制成。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述承载底座、推压定位装置和止挡部均设置在底板上，所述底板呈窗框型，所述底板中部为矩形的窗孔。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述推压定位装置和止挡部与石英舟的接触位置均设置有橡胶压块。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括复位气缸，所述复位气缸的输出端与所述承载底座上的支撑台连接，所述复位气缸带动所述支撑台移动。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述推压定位装置包括压紧气缸。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述压紧气缸固定安装在气缸安装座上。

本实用新型的有益效果：