[实用新型]一种半导体生产用晶圆清洗装置

说明书

本实用新型提供一种半导体生产用晶圆清洗装置，涉及晶圆加工技术领域，包括水箱，所述水箱底部设有安装框，所述安装框底部两侧设有套筒，所述套筒内设有弹簧，所述弹簧一侧设有移动板，所述移动板与所述套筒滑动相连，所述移动板顶部设有移动框，所述移动框两侧壁设有锯齿，所述锯齿一侧设有齿轮，所述齿轮上设有部分锯齿，所述齿轮一侧设有第二螺纹块，所述第二螺纹块一侧设有第一螺纹块，所述第一螺纹块与所述安装框转动相连。本实用新型结构稳定，实用性高。

技术领域

本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种半导体生产用晶圆清洗装置。

背景技术

晶圆于在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，是常用见的半导体结构，在半导体的生产过程中，需使用清洗装置对晶圆进行处理，清洗装置的应用广泛。传统的清洗装置在使用时，不能多个晶圆进行多方位的同时进行清洗，且晶圆固定不便，载重体承载晶圆时稳定性不佳，清洗效率低，效果差，影响了清洗装置的使用。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种半导体生产用晶圆清洗装置。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种半导体生产用晶圆清洗装置，包括水箱，所述水箱底部设有安装框，所述安装框底部两侧设有套筒，所述套筒内设有弹簧，所述弹簧一侧设有移动板，所述移动板与所述套筒滑动相连，所述移动板顶部设有移动框，所述移动框两侧壁设有锯齿，所述锯齿一侧设有齿轮，所述齿轮上设有部分锯齿，所述齿轮一侧设有第二螺纹块，所述第二螺纹块一侧设有第一螺纹块，所述第一螺纹块与所述安装框转动相连；所述移动板底部两侧转动设有电动杆，所述电动杆两侧设有至少一个横杆，所述横杆一侧设有圆筒框，所述圆筒框表面设有至少一个圆孔，所述圆筒框底部设有底孔，所述水箱底部设有水管，所述水管穿过所述移动板与所述圆筒框相连，所述圆筒框下方设有底框，所述底框内设有置物台，所述置物台顶部设有至少一个夹块，所述底框底部设有第一齿轮盘，所述第一齿轮盘底部设有底转杆，所述底转杆底部设有储水框，所述第一齿轮盘之间设有第二齿轮盘，所述第二齿轮盘与所述储水框转动相连。

优选地，所述安装框两侧设有支架。

优选地，所述水箱顶部设有注水口。

优选地，所述移动板两侧设有侧杆，所述侧杆与所述套筒相连。

优选地，所述底框两侧设有排水管。

优选地，所述置物台与所述底框之间设有空隙。

优选地，所述储水框底部两侧设有清理口。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设计结构合理，通过第一螺纹块带动第二螺纹块，第二螺纹块带动齿轮在移动框之间移动，齿轮上设有部分锯齿，当其带动移动框一侧转动，当转动到齿轮没有锯齿部分时，带动移动框反向运动，移动框带动移动板在套筒内进行来回移动；移动板来回移动带动圆筒框在底框内进行来回移动，这样便可对底框内各个位置的晶圆进行清洗，同时电动杆带动圆筒框转动，由于圆筒框侧面设有多个圆孔，水会从圆孔甩出，便于到达多个晶圆上，还有部分水从底孔流出，增加了清洗的面积与清洗效果，第一齿轮盘带动其两侧第二齿轮盘转动，带动底框转动，底框转动加快其内部水流动，提高了清洗效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型结构示意图。