[实用新型]一种用于小规格晶棒的线切割设备有效
申请号: | 202120157581.5 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN215319764U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 山本晓;张海涛;刘良宏;许彬;庞博 | 申请(专利权)人: | 无锡吴越半导体有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 刘秀颖 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 规格 切割 设备 | ||
1.一种用于小规格晶棒的线切割设备,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)的顶部通过支杆安装有顶板(2),所述顶板(2)的顶部固定有电动伸缩杆(3),且电动伸缩杆(3)的底端延伸至顶板(2)的下啊连接有升降座(4),所述升降座(4)的两侧均转动安装有导轮(5),且其中一个导轮(5)的后表面连接有切割马达,所述切割马达栓接于升降座(4)的后表面,两个所述导轮(5)的外壁套设有线锯(6),所述升降座(4)的底部且位于线锯(6)的两侧均安装有两个纵向伸缩杆(7),所述纵向伸缩杆(7)的底端连接有压固片(8),所述压固片(8)与升降座(4)相互靠近的一侧均粘接有磁片(9),且两个磁片(9)相互靠近的一侧磁场方向相同,所述底座(1)的顶部且位于压固片(8)的正下方安装有转料盘(10),且转料盘(10)的顶部固定有与压固片(8)相对应的导轨(11),所述导轨(11)的一端连接有橡胶挡块。
2.根据权利要求1所述的一种用于小规格晶棒的线切割设备,其特征在于:所述导轨(11)的两侧均安装有悬架(13),且悬架(13)的上方设有限位板(12),所述限位板(12)的外壁连接有横向伸缩杆(15),且横向伸缩杆(15)的外壁套设有弹簧,所述升降座(4)的底部安装有与限位板(12)相适配的扩宽块(16),且扩宽块(16)的底部开设有底口(17)。
3.根据权利要求2所述的一种用于小规格晶棒的线切割设备,其特征在于:所述悬架(13)的内部顶侧贯穿有与其螺纹连接的螺杆(14),且螺杆(14)的端部与横向伸缩杆(15)的端部连接。
4.根据权利要求2所述的一种用于小规格晶棒的线切割设备,其特征在于:所述限位板(12)的数量有两个且位于导轨(11)上方两侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于小规格晶棒的线切割设备,其特征在于:所述底座(1)的顶部向远离橡胶挡块的一侧上斜十五度。
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