[实用新型]一种扩散炉清洗装置有效
申请号: | 202120165784.9 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN214488107U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 陈康;刘四化;王宜 | 申请(专利权)人: | 无锡瑞达半导体专用设备有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B9/023 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 毛洪梅 |
地址: | 214064 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 清洗 装置 | ||
1.一种扩散炉清洗装置,其特征在于,包括装置本体,所述装置本体上设有设备安装台(2),所述设备安装台(2)上设有清洗槽(1),所述清洗槽(1)两侧设有支撑柱(3),所述支撑柱(3)上可活动的设有支架(4),所述支架(4)包括支架盘(41),所述支架盘(41)一侧设有支架轴(42),所述支架盘(41)的另一侧设有扩散炉管固定架(43),两侧的所述支架(4)的所述扩散炉管固定架(43)方向相对,两个所述扩散炉管固定架(43)之间设有扩散炉管(5),所述扩散炉管(5)的尺寸与所述清洗槽(1)的尺寸相匹配,两个所述支架轴(42)可活动的设在所述支撑柱(3)上,所述支架轴(42)外侧设有驱动电机(6),所述驱动电机(6)固定在电机支架(7)上,所述电机支架(7)固定在设备安装台(2)上;所述清洗槽(1)的侧壁均布设有喷水孔,所述喷水孔与水泵连接,所述水泵固定在所述设备安装台(2)上;所述清洗槽(1)上还设有进水管和出水管,所述进水管与清洗剂存储箱上的电动阀门连接,所述出水管上设有排水电动阀,所述排水电动阀与污水收集箱连接,所述清洗槽(1)连接有超声波发生器。
2.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述支撑柱(3)顶端设有支撑孔,所述支撑孔中嵌有轴承,所述支架轴(42)设在所述轴承中。
3.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述支架盘(41)一半位于所述清洗槽(1)中,所述扩散炉管固定架(43)有多个,最下方的所述扩散炉管(5)位于所述清洗槽(1)中,最下方的所述扩散炉管(5)低于所述喷水孔的高度。
4.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述支撑柱(3)的高度大于所述清洗槽(1)的高度,所述支架(4)与所述清洗槽(1)不接触。
5.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述出水管位于所述清洗槽(1)的底部。
6.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述进水管的高度低于所述喷水孔。
7.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述超声波发生器发出的超声波频率大于1000Hz。
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