[实用新型]一种扩散炉清洗装置有效

专利信息
申请号: 202120165784.9 申请日: 2021-01-21
公开(公告)号: CN214488107U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 陈康;刘四化;王宜 申请(专利权)人: 无锡瑞达半导体专用设备有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B9/023
代理公司: 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 代理人: 毛洪梅
地址: 214064 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种扩散炉清洗装置,其特征在于,包括装置本体,所述装置本体上设有设备安装台(2),所述设备安装台(2)上设有清洗槽(1),所述清洗槽(1)两侧设有支撑柱(3),所述支撑柱(3)上可活动的设有支架(4),所述支架(4)包括支架盘(41),所述支架盘(41)一侧设有支架轴(42),所述支架盘(41)的另一侧设有扩散炉管固定架(43),两侧的所述支架(4)的所述扩散炉管固定架(43)方向相对,两个所述扩散炉管固定架(43)之间设有扩散炉管(5),所述扩散炉管(5)的尺寸与所述清洗槽(1)的尺寸相匹配,两个所述支架轴(42)可活动的设在所述支撑柱(3)上,所述支架轴(42)外侧设有驱动电机(6),所述驱动电机(6)固定在电机支架(7)上,所述电机支架(7)固定在设备安装台(2)上;所述清洗槽(1)的侧壁均布设有喷水孔,所述喷水孔与水泵连接,所述水泵固定在所述设备安装台(2)上;所述清洗槽(1)上还设有进水管和出水管,所述进水管与清洗剂存储箱上的电动阀门连接,所述出水管上设有排水电动阀,所述排水电动阀与污水收集箱连接,所述清洗槽(1)连接有超声波发生器。

2.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述支撑柱(3)顶端设有支撑孔,所述支撑孔中嵌有轴承,所述支架轴(42)设在所述轴承中。

3.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述支架盘(41)一半位于所述清洗槽(1)中,所述扩散炉管固定架(43)有多个,最下方的所述扩散炉管(5)位于所述清洗槽(1)中,最下方的所述扩散炉管(5)低于所述喷水孔的高度。

4.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述支撑柱(3)的高度大于所述清洗槽(1)的高度,所述支架(4)与所述清洗槽(1)不接触。

5.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述出水管位于所述清洗槽(1)的底部。

6.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述进水管的高度低于所述喷水孔。

7.根据权利要求1所述的扩散炉清洗装置,其特征在于,所述超声波发生器发出的超声波频率大于1000Hz。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡瑞达半导体专用设备有限公司,未经无锡瑞达半导体专用设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120165784.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top